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INFICON英福康介绍
INFICON英福康介绍

INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放...

2023-03-29
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  • 科锐诗汀详细单位换算表

    科锐诗汀详细单位换算表量英制单位换算系数英制换算为单位单位换算为英制长度英寸(in)英尺(ft)码(yard)哩(mile)毫米(mm)或厘米(cm)厘米(cm)或米(m)米(m)千米(km)1英寸=25.4mm1英尺=30.5cm1码=0.914m1哩=0.914km1cm=0.394英寸1m=3.28英尺1m=1.09码1m=0.62哩面积平方英寸(in²)平方英尺(ft²)平方码(yard²)亩(acre)平方哩(mile²)平方毫米(mm²)平方厘米(cm²)或平方米...

    20167-7
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  • 阐述涡轮分子泵的工作原理

    涡轮分子泵的抽气原理分子泵输送气体应满足二个必要条件:1).涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有0.06μm,即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06μm,就可能与第二个气体分子相碰。而在1.3Pa时,分子间平均自由程可达4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长...

    20167-1
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  • 详细阐述分子泵是否“无油”

    这是一个老问题了。从工作机理来说,分子泵对油蒸汽的压缩比很高,即使前级有油蒸汽存在,高真空室通常无法检测到油蒸汽,所以,往往被称为“无油”泵。其实,上述说法只有在分子泵操作步骤合理时才能成立。分子泵处于停止状态,泵的轴承(磁悬浮轴承除外)和前级泵(干式前级泵除外)的润滑油蒸汽可能扩散到高真空室。1)停泵状态:气体的扩散速度与压强平方成反比。停泵状态,只要压强>50Pa,对大部分用户来说,油蒸汽的扩散可以忽略,可以认为“无油”。2)制动过程:分子泵制动过程中,真空室压强逐渐升高...

    20166-28
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  • 真空的定义及真空度单位

    1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位通常用托(Torr)为单位,近年上取用帕(Pa)作为单位。1托=1/760大气压=1毫米汞柱

    20166-21
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  • 真空系统前级泵抽速选择

    前级泵抽速选择排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的zui大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:PnSg≥PgS或Sg≥Pgs/PnSg-前级泵的有效抽速(l/s)Pn-主泵临界前级压强(zui大排气压强)(l/s)Pg-真空室zui高工作压强(托)S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

    20166-14
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  • 真空系统扩散泵抽速计算公式

    扩散泵抽速计算公式:S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S-被试泵的抽气速率(l/s)n-滴管内油柱上升格数(格)t-油柱上升n格所需要的时间(秒)P-在泵口附近测得的压强(托)K-滴管系数(托·升/秒)K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升)L-滴管刻度部分的长度(mm)n-滴管刻度部分的格数(格)Υ0-油的比重(克/厘米3)Υm-汞的比重(克/厘米3)Pa-当地大气压强(托)△Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容...

    20166-7
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  • INFICON电容薄膜规的十三大特点

    INFICON电容薄膜规的特点:1、以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成2、在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量3、快速的预热和恢复时间,提高生产率4、的长期稳定性,再现性和重复性5、由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性6、对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定7、快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态8、一键按钮:调零功能和设点调整9、抗腐蚀超纯陶瓷传感器10、能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹...

    20165-26
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  • 真空系统常用名称

    真空系统常用名称(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处...

    20165-19
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  • 加热型薄膜规的七大优点

    加热型薄膜规压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系,通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度1、零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)2、更高的精度3、环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响4、比工艺更快的预热启动时间’5、快速恢复时间大气压6、任意安装角度7、抗污染,可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

    20165-12
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  • 电容薄膜规的应情况介绍

    电容薄膜规要求高的应用条件下,而快速的压强测量1、用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1...

    20165-5
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  • INFICON皮拉尼真空计应用行业

    INFICON皮拉尼真空计应用行业1.各种高真空泵的前级压力测量,如光伏,镀膜,等离子行业2.各种中低真空测量,如照明,冶金3.真空连锁控制,高真空计的点火开关控制,如PEG1004.PSG050可*替代TR211,PSG051可*替代TR2165.PCG400PCG410(现在已升级为PCG550,PCG400/PCG410已经停产)与PSG500基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受气体类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用6.PS...

    20164-26
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  • INFICON皮拉尼真空计的选型

    皮拉尼真空计具体型号lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起2.两种原理的规管全过程都工作3.100mbar—1000mbar使用薄膜规信号4.1mbar–100mbar两规信号同时采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号6.输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃

    20164-20
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