采用对靶磁控溅射系统，可以获得高沉积速率的磁性膜，且不必大幅度升高基片温度。对靶磁控溅射系统可以用来制备磁性Fe、Ni及其磁性合金膜。对靶磁控溅射系统其原理如图3所示。两只靶相对安置，所加磁场和靶表面垂直，且磁场和电场平行。阳极放置在与靶面垂直部位，和磁场一起，起到约束等离子体的作用。二次电子飞出靶面后，被垂直靶的阴极位降区的电场加速。电子在向阳极运动过程中受磁场作用，作洛仑兹运动。但是由于两靶上加有较高的负偏压，部分电子几乎沿直线运动，到对面靶的阴极位降区被减速，然后又被向...

增强溅射阴极磁场的另一种方法是采用高强磁体，通过强磁场饱和更厚的铁磁性靶材得到靶材表面需要的溅射磁场强度。但是高强磁铁的价格昂贵，同时采用这种方法增加靶材厚度的效果有限，而且由于强永磁体大小不能改变，这种方法会引起严重的等离子体磁聚现象。等离子体磁聚现象的产生使溅射区靶材很快消耗完而不能继续溅射，从而造成靶材利用率很低。采用电磁线圈来产生高强磁场，通过调节电磁线圈的电流控制磁场大小来抑制等离子体磁聚。但这种方法的磁场装置复杂而且成本高，同时电磁线圈还受到溅射阴极尺寸的限制，从...

在真空系统中，高真空插板阀用来切断或接通管路气流，按其结构原理可分为滚珠胀紧型与平行四边形运动机构撑开型。本文的研究对象ZBS-800高真空插板阀为滚珠胀紧型，滚珠胀紧方式的高真空插板阀主要由阀体(阀壳、阀盖、密封圈)、阀板组件(胀紧滚珠、密封阀板、承压阀板、板簧、保持架、导向轮)、驱动部分(曲柄连杆机构、气缸、机械到位开关)等部件组成，具体结构原理图如图1所示。真空插板阀是一种双向密封阀，在正向或反向抽真空时，密封阀板两面形成0至1大气压压差，均能达到真空密封，压差作用在密...

根据ZBS-800型插板阀的组成以及结构特点，可以采用检测真空阀门阀板位移、阀门开启以及关闭过程的声音、阀门开启以及关闭所需时间相互结合的方法对阀门的工作状态进行预测。2.1、阀门密封阀板的位移激光位移传感器是可以进行非接触位置、位移测量的精密传感器，在科学研究、工业生产、空间技术、国防等领域得到了广泛应用，我们选用激光三角测量法传感器对阀门密封阀板的位移进行测量，激光三角测量法原理如图2所示，激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，...

将铁磁性靶材的厚度减薄是解决磁控溅射铁磁材料靶材的常见方法。如果铁磁性靶材足够薄，则其不能*屏蔽磁场，一部分磁通将靶材饱和，其余的磁通将从靶材表面通过，达到磁控溅射的要求。这种方法的大缺点是靶材的使用寿命过短，同时靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一个缺点是溅射工作时，靶材的热变形严重，往往造成溅射很不均匀。一种对铁磁性靶材进行的改进设计是在靶材表面刻槽，槽的位置在溅射环两侧。这种设计的靶材适用于具有一般导磁率的铁磁性靶材，例如镍。但对具有高导磁率的靶材料效果较差。虽然靶材的...

真空截止阀的真空部分主要由内阀体和外阀体的中间夹层组成，夹层中气体越多，对流传热就越剧烈，为减少对流换热的影响，要对夹层进行抽真空处理，残余气体的传热属于气体的能量迁移，对于真空夹层的气体导热随着夹层压强的不同，气体的导热机理不相同。真空夹层的残余气体的传热分三种情况，分别是：低真空、中真空和高真空，就高真空而言，气体分子的平均自由程大于容器尺寸，分子间相互碰撞的几率很低，分子与界面的碰撞比分子间的相互碰撞频繁得多，气体中各处温度相等，气体分子可以由一个壁面飞向另一个壁面，每...

质量流量计它可以测量流体介质的质量，也可以测量流体介质的密度。仪表的量程比会影响它自身测量精度，但是会引起压降的讲法还没听过。质量流量计根据哥里奥利效应而制成的质量检测仪表，因此质量流量计的检测不受温度、压力、流速、密度、粘度等影响。质量流量计的特点质量流量计它的检测精度高、量程范围宽、可靠性高，而且后期维护量小。在测量流体介质质量流量时也可以测量流体介质的密度。它的输出信号为4-20maDC模拟量信号，同时又能输出频率信号，能更好的与计算机相兼容，因此能构成完善的本质安全系...

真空规管一般是装在真空镀膜室的位置，是指电离规管，玻璃管端部用老虎钳夹破一点，插进真空室密封好，必须大气状态完成。（还有电阻规它是测粗真空的，这种没有规管，就一个传感器）用来监测真空度的，，电离规开启一般是有要求的，当压强到3PA以下才开真空，可设置压强参数，到了会自动开，过早开会氧化电离规，导致烧坏真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作...

充气密封圈是实现检漏收集室密封的关键，研究其密封性的设计具有重要的工程意义。旧检漏收集室采用的无棱充气密封圈的密封效果不佳，且密封可靠性也较差，因此，针对某收集室的新建要求，有必要对充气密封圈进行重新的设计，以提高检漏收集室的密封性及可靠性。本文首先根据充气密封圈的密封机理，设计出一种新型截面型式的充气密封圈;其次，通过有限元仿真的对比分析，得到了新旧两种不同截面型式充气密封圈密封面上的应力分布规律，并以此为基础，确定了新型截面型式充气密封圈的*性；后，通过对新建收集室的密封...

液氧，液氢在经过真空管道及真空截止阀后，1-2小时对真空阀残余气体漏热与常温下夹层压强进行了测试，实验计算结果表明夹层低温压强对应的常温压强，与夹层中氢含量和吸附剂的吸附能力密切相关，如果吸附剂的装填量足够多，也即吸附剂在低温下能够吸附气体的量大于夹层中可能存在的不凝性气体的量，对液氢输送中，可允许稍低的真空度。常温夹层压强在40Pa以上残余气体漏热与压力成非线性关系，如图1所示。同时在夹层低压强的状态对残余气体的漏热进行了计算分析如图2和图3，实验结果表明低压状态下残余气体...

干式螺杆真空泵是主要是利用一对螺杆，其特点是两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，所以使得干式螺杆真空泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。干式螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版...

1、选择合理的管路方案①真空系统出口与泵的入口之间距离越短越好；②管路拐弯越少越好；③进口管路应高于泵的入口中心线，出口管应避免有引起较大阻力的因素，如出口管上爬、直角拐弯等；④配接进出口管直径应与产品的进出口直径一致，如真空系统较小，进出口配接管直径可以小，但不得小于产品进出口直径的70%，且出口直径应大于或等于入口管直径；⑤管路的拐弯处应圆滑过渡；⑥水环式真空泵的进水管路要安装阀门,用来调节进水量的多少,进水量的多少对真空度有影响,调节进水量时通过观察真空表的指针来控制阀...