真空清洁、无油一直是真空业界追求的理想环境，而涡旋真空泵是一种新型的无油直排介质的机械泵，它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构紧凑简单、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点;研究认为真空泵的无油化对获得清洁、无油真空环境至关重要;介绍了涡旋泵的发展历程、工作原理、结构类型以及相关厂家产品等并对涡旋真空泵的发展趋势进行了分析。1、涡旋式真空泵的发展历程20世纪80年代初，CoffinDO将涡旋真空泵应用在高真空系统中。涡旋真空泵的研究始于20世纪80...

质量流量控制器为各种气体工业和试验应用设计了弹性密封和分析方法。采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON、聚四氟乙烯等。用于对气体的质量流量进，行精密测量和控制；各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；高精度；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。质量流量控制器应用领域：半导体制造行业的气体流量控制；分析...

真空规管具有体积小，重量轻，响应快，量程宽，抗污染，功耗低，稳定性高等等特点。测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域。适用于工业，是实验室金属真空系统粗低真空的测量与控制。真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。真空规管性能特点：...

切割机应用有金属和非金属行业。经过几十年的发展，切割能源已由单一的火焰能源切割发展为多种能源(火焰、等离子、激光、高压水射流)切割方式；高精度线切割机采用高精度、多功能机作业速度快的线切割机，可提高模具精度和磨具优良率。高精度线切割机从上世纪90年代引入中国以来，以期良好的稳定性和低廉的价格在我国产业领域占有相当大的*。通过对切割线的引导和统一采用同种磨粉浆改良的切割技术已经满足了这两个要求。该切割机是半自动化机器，工作过程中无需监督。可以用来切割半导体、铁氧体、金属、玻璃和...

铝箔不仅质地柔软，延展性好，便于加工，而且轻便美观，回收容易，有利环保，是现代包装中zui常用的材料之一。另外，由于铝箔具有较高的磁导率，有良好的磁吸收能力和电磁波屏蔽能力，耐热性又好，因此也需用于电子设备和半导体物品的包装。由于铝箔容易在包装、使用过程中形成针孔而降低其阻碍性能，所以铝箔常与纸、高分子聚合物或者其他金属薄板制成复合材料使用。实践证明，铝箔复合材料使用可大大提高包装的阻隔性，提高铝箔的力学强度和机械性能，尤其适合制作复合软包装及包装衬里，广泛应用于食品、yao...

塑料具有质轻、性能优良、易成型、易加工等特点，应用范围非常广泛，是日常生活和国民经济各部门*的材料。塑料还可以作为金属、陶瓷、木材的代用品。例如，用塑料代替金属生产某些形式复杂的零件，可以省去很多工序，提高工效，节约大量金属材料。但是，塑料又有金属光泽，表面硬度低、易老化等缺点。为了克服存在的缺点并提高塑料的附加功能，进一步扩大塑料用途，需要对塑料表面进行处理。利用真空镀膜技术对塑料表面进行处理是一个行之有效的好办法。通过真空镀膜可以把我们需要的镀膜材料镀到塑料表面上，使塑料...

晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前，市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金。金是zui广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积。科学家zui早发现一些晶体材料，如石英，经挤压就象电池可产生电流（俗称压电性），相反，如果一个电池接到压电晶体上，晶体就会压缩或伸展，如果将电流连续不断的快速开关，晶体就会振动。晶振片来源于多面体石英棒，先被切成闪闪发光的六面体棒，再经过反复的切割和研磨，石英棒zui终被做成一堆薄薄的（厚0.23mm，直径13.98mm）圆片...

真空规管有真空规和相对真空规，电容薄膜真空规为真空规，不管什么气体对真空值都没有影响。此规管用于刻蚀、CVD、PVD、ALD等半导体制造设备；数据贮存和显示制造设备；工业真空设备；一般高精度压强测量。根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空...

在真空镀膜应用中要用来一些气体来辅助实现我们要的工艺，但流量的大小和如何来控制呢？这就是我们要告诉大家的。首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即MassFlowMeter（缩写为MFM），是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器，即MassFlowController（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系...

真空镀膜上如何使用好晶振片：1）取用晶片时要求表面清洁，不能与手等异物接触，造成表面污染，这样的晶片会很快失效。2）镀膜过程晶片的温度要尽量稳定，否则镀膜不稳，偏差大。3）每次换完晶片，探头接触面要保养，定期检查接触电阻，接触电阻大会过早失效。

MKS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送,气体和薄膜成分分析,静电荷控制，工艺控制,信息管理,电源和反应气体发生器及真空技术。MKS流量计是以单位时间内压力体积的流量方式来控制气体质量流量的测量仪器。MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀、MKS流量计广泛应用在半导体行业，镀膜玻璃，医药制药行业，生物工程行业，适合各种气体媒介，常用的有氧气，氢气，氮气，氯化氢气体，氨气，SICL4硅烷气体等。如何选择一款好的，适合工程用的MKS流量计则是人们当下zui关心的问题，下...

罗茨真空泵是一种无内压缩的旋转变容式真空泵，又称机械增压泵，其优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，是目前获得中、高真空的主要抽气设备之一，其工作原理与罗茨鼓风机相似，主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形的泵腔组成。罗茨真空泵不能单独排气，必须与前级泵（如滑阀泵、旋片式真空泵、水环式真空泵、油环泵等）串联使用，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵所能接受的压力时才能开始工作，否则将会因过载和过热而损坏。在前级泵进气口前面串联上ZJ系列罗茨真空泵组成...