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矩形传输阀的产品介绍

更新时间:2024-06-11      点击次数:63

矩形传输阀的产品介绍

日扬科技真空矩形阀由日扬自主设计和生产制造,作为一款真空系统密封零部件,它拥有zhuoyue的操作性能、高耐用性、低振动和高洁净度等优点。

规格参数:

矩形传输阀的产品介绍  

阀门采用气动驱动模式,开启/关闭的最快时间不超过1s,阀体开口尺寸可按客户需求定制。当阀门开启时,压力差值小于10mbar,阀门内部轴密封采用波纹管,阀体材料可以选择不锈钢或者铝合金材质,表面可以做电解抛光或者硬质阳极氧化处理。

矩形传输阀的产品介绍

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应用场景:矩形传输阀广泛应用于半导体或者光伏行业的镀膜系统,一般安装至lock-load腔室和传输腔体间以及工艺腔和传输腔体之间,是物料的传输窗口。lock-load腔室与外界大气间一般采用矩形门阀,而连接真空泵和工艺腔体用于排气的阀门可用钟摆阀。


设计原则:这款矩形阀所有移动件都位于大气侧,可以保证在真空侧减少微尘颗粒的产生。阀体密封门可以快速拆卸,便于更换O-ring密封圈。当气压损失时,阀门底部的逆止阀可以保证阀板密封件自动锁紧,防止泄漏。

联系日扬科技,您将获得一个可靠、高效且易于维护的真空解决方案,日扬不仅提供优质的阀门,更以全面的技术支持和无忧售后维护,确保您的每一次使用都是满意的体验。

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