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优势•创新型增压泵快速且精确,缩短了响应时间,提高了氦气清除速率,尤其适用于大量氦气。•级泵抽空时间最快,非常耐用,维护量极低,能够承受水蒸气压。•系统耐用极耐受排气冲击的影响;仅需要很少的维护。•I·CAL采用节省时间的软件算法:将噪音将至水平,不忽略细节,例如轻微振荡。•I·ZERO2.0:INFICON专有技术氦气本底浓度低,检测时间最短;能够可靠地检测出最小泄露面积的漏点。•大漏检测模式:...
本手册是MDC-360晶控说明书的翻译文稿,阐述了在使用MDC-360时的参数设置,故障代码,维修等方法,对MDC-360的使用者非常实用。
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