山洋电气真空用步进电机（2相/5相）

特点

• 步进电机可直接置于真空环境驱动，

  无需导入器

• 简单实现高精度定位控制

• 可适配低真空至超高真空范围（定制化）

• 耐热温度达200℃

适用真空等级范围

适用场景

半导体制造设备、电子显微镜、加速器、同步辐射分析装置、宇宙飞船机械臂等。

尺寸范围

□42 mm ～ □86 mm，也可按需全定制。

定制能力

山洋电气定制实例：

• 半导体晶圆检测设备 / 电缆材质定制

• 空间站用机械臂 / 全定制

• 真空蒸镀装置 / 定制为带齿轮的步进电机

• 电子显微镜 / 定制为带齿轮的步进电机

• 核相关设备 / 步进电机的抗辐射定制

若您有特殊使用环境，欢迎随时咨询，我们为您量身打造最合适的真空电机方