电容膜片真空计工作原理
电容膜片真空计是绝对压力测量，依靠弹性膜片受压形变改变电容，和气体种类无关。
结构
内部有一块很薄的弹性膜片，把腔体分成两部分：
参考腔：出厂时预先抽成真空并密封，作为压力零点基准。
测量腔：和被测真空设备相连，感受实际真空压力。
膜片本身是一个可动电极，对面有一块固定电极，两者组成平板电容器。
压力‑形变‑电容变化
被测真空压力作用在膜片两侧，两边存在压力差：
测量腔压力 − 参考腔(近乎 0)= 被测绝对压力
压力越大，膜片就向参考腔一侧发生微小弯曲变形，膜片与固定电极之间的间距发生改变。
平板电容的电容大小和极板间距成反比：间距变小 → 电容变大；间距变大 → 电容变小。
信号转换输出
内部电子电路检测电容的微小变化，把它换算成压力值，输出模拟信号(0‑10V /4‑20mA)或者数字信号 RS485。
核心本质：测机械力导致的膜片位移，不是测气体热效应。
所以不管是空气、氩气、氧气，同样压力下读数一样，不需要气体修正。
简单通俗版
一边是封死的超高真空基准，一边接你的真空罐；压力来了把薄膜压弯，薄膜弯多少改变电容，电路读出电容就算出压力。
关键点补充
零点：当测量腔抽到和参考腔一样高真空，膜片无变形，此时做零点调零。
限制：膜片机械形变有下限，一般测到 10⁻³Pa，再低膜片几乎不动，测不出。
温度会让膜片热胀冷缩，高精度规格自带温度补偿电路。
添加好友
添加好友