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浅谈英福康真空计的命名规则

更新时间:2024-03-13      点击次数:2302

所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,如果进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等,中国的真空设备厂家中,使用广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康(INFICON)的真空计及控制器。

但是困扰使用者的一个问题是英福康(INFICON)的真空计及控制器种类繁多,型号规格貌似没有规律,很难记忆,今天我们就尝试着解开这个困扰。

真空计从原理上划分很多种类,还有一些复合真空计,从大类上就可以分十几种,加上测量宽度和精度的不同排列组合,可以细分成几十种,根据实际应用可能会构成多种选型,的确会让不熟悉的人头疼不已,不过,英福康(INFICON)的真空计的命名还是有规律可循的:

B-A 型皮拉尼真空计(Bayard-Alpert Pirani Gauge)就是BPG

B-A 型皮拉尼电容膜片真空计(Bayard-Alpert Pirani Capacitance diaphragm Gauge)就是BCG

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