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真空相关小知识

更新时间:2021-03-16      点击次数:1718

PECVD:等离子体增强化学气相沉积,指借助微波或者射频波使腔室内的反应气体分子电离,形成的高化学活性等离子体在基片表面发生化学反应,沉积成膜。
PECVD根据等离子发射源的动作情况可分为动态和静态。
根据设备结构可分为链式、团簇式和U型。

根据射频频率的不同可分为RF-PECVD(13.56MHz)VHF-PECVD30-300MHz

HJT设备:导质结电池设备

 

PVD:物理气相沉积((Physical Vapour Deposition),表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。 

 

CVD:化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)化学气相沉积乃是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。•简单来说就是:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到基片表面上。•从气相中析出的固体的形态主要有下列几种:在固体表面上生成薄膜、晶须和晶粒,在气体中生成粒子。

 

深圳市科锐诗汀科技有限公司在真空行业多年,致力于做专业事,公司有以下业务:
一、真空获得产品有:
    1、美国安捷伦(Agilent Technologies)的旋片泵、干泵、罗茨泵、分子泵、分子泵机组、扩散泵、离子泵。
    2、德国普发(PFEIFFER)的旋片泵、隔膜泵、螺杆泵、泵组、罗茨泵、分子泵、分子泵机组。

    3、英国爱德华(EDWARDS)真空泵

    4、德国莱宝(LEYBOLD)真空泵

二、真空测量产品有:

    1、瑞士英福康(INFICON)真空计及控制器

       CDG电容膜片真空计(CDG020DCDG025DCDG045DCDG100DCDG160DCDG200DCDG025-C)

       BAG402 B-A型真空计

       BPG400 BPG402-S B-A型皮拉尼真空计

       HPG400高压强热电离型皮拉尼真空计

       BCG450 B-A型皮拉尼电容膜片真空计

       PSG500/-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S PSG550 PSG552 PSG554皮拉尼标准真空计

       PCG550 PCG552 PCG554皮拉尼电容膜片真空计、

       PEG100潘宁真空计、

       MAG500/504 MPG500/504 MPG400/401反磁控/反磁控皮拉尼真空计、

       VGC501 VGC502 VGC503 PGD400真空显示控制器

       PGE050 VGC031 BAG050 BAG051 BAG052 BAG053 VGC083A/VGC083B被动型真空计和控制器。

    2、美国MKS Granville-Phillips真空计及控制器

      390 Micro-lon ATM模块

      392 Micro-lon Plus模块

      356 Micro-lon Plus模块

      385 Convectron ATM模块 复合式模块化真空计、

      275 Mini-Convectron模块模拟量输出型

      275 Mini-Convectron模块DeviceNet

      354 Micro-lon模块

      347 Stabil-lon模块 模块化一体式真空计、

      307BA规控制器

      358Micro-lon规管控制器

      370 Stabil-lon规管控制器

      475 Convectron规管控制器等系列真空规管控制器、

      274 BA电离规。

三、真空检测产品:

    1、瑞士英福康(INFICONLDS2010模块化系统检漏仪(通用于集成于工业的漏测试系统)、Moudul1000模块化氦检漏仪(集成于中等自动化的检漏台)、UL1000 UL1000Fab UL5000氦检漏仪、Protec p3000氦吸枪检漏仪。

    2、瑞士英福康(INFICON)残余气体分析仪(RGA)和质谱仪

       Transpector CPM3紧凑型过程监控器

       Transpector  SPS 残余气体分析仪
       Transpector  XPR3+ 残余气体分析仪

       Transpector  MPH 残余气体分析仪

       Transpector  MPS 残余气体分析仪

       QMG 700 分析质谱仪

四、真空辅助产品有:
   
 1、中国台湾日扬(HTC)真空法兰、波纹管、卡扣、中心圈、转接头、真空角阀、全金属角阀、真空蝶阀、真空插板阀。
     2、瑞士英福康(INFICON)真空连接件、视窗、真空馈入件。

     3、瑞士英福康(INFICON)薄膜沉积控制产品

        Cygnus 2 膜厚控制仪(OLED应用)

        IC6 膜厚控制仪(光学应用)

        XTC/3膜厚控制仪

        SQC-310系列膜厚控制仪

        IQM-233膜厚控制仪插件板

        SQM160多层膜速率/膜厚监测仪

        STM-2XM 2通道速率/膜厚监测仪

        STM-3 可扩展的薄膜膜厚/速率监测仪

       STM-2 USB薄膜膜厚/速率镀层监测仪

   4、美国MKS 质量流量控制器 1179C GE50A

   5、瑞士福特林(Vogtlin)

      red-y smart 智能型系列 热式质量流量计和控制器(精确可靠)
      red-y compact紧凑型系列 热式质量流量计(便捷的数字化设备)

      red-y 系统 (OEM应用 实现流量测量的要求)

      Q-Flow 浮子流量计
      V-100 浮子流量计

      M-Flow 高精度调节阀

五、真空镀膜设备

    SVACFilmLab-B箱式镀膜机(可集成电子束、热蒸发、磁控溅射等多个沉积模块)

    SVAC-FilmLab-T台式镀膜设备(可集成热蒸发、磁控溅射等沉积模块)

    SVAC-FimLab-G带手套箱式镀膜设备(圆形蒸发源(金属/有机交替分布)/束源炉)(镀钙钛矿)

    SVAC-FimLab-C束线多腔镀膜设备

    SVAC-UHVLab-MT材料吸气率测试设备

    SVAC-UHVLab-IMT绝热材料放气率测试设备

    SVAC-PStat-80高真空分子泵机组

    SVAC-CryoLab低温真空系统

    SVAC-CryoLab-TC低温绝热材料热导率试验台

    CryoLab-OSt4低温恒温器

    SVAC-Sub 有机小分子升华提纯系统(OLED材料)

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