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科锐诗汀给你分享英福康CDG系列薄膜规使用的经验

更新时间:2024-06-07      点击次数:86

科锐诗汀给你分享英福康CDG系列薄膜规使用的经验

一:

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如果初次使用CDG型薄膜型真空计时,在相同的腔体环境中,发现真空计的压力显示不一致。进行以下排查

1. 排查腔体的实时压力是否满足真空计的工作压力要求。

2. 排查真空计的安装方向是否符合制造商的规定(出厂时默认为垂直安装,如改为水平安装,需重新标定)

3. 排查相关气路的气密性,判断是否存在漏气现象。

4. 排查腔体环境是否存在可能干扰设备正常工作的腐蚀性气体。

5. 排查腔体内部压力是否真的存在不一致现象。

6. 排查真空计本身是否存在故障。

 

二、

1CDG系列薄膜规在购买前需要特别注意其量程范围,真空计本身最大检测量级为满量程向下4个数量级,建议检测压力为满量程向下2.5个数量级。(例如满量程为1000Torr的薄膜规,则建议在5~1000Torr的范围下使用)。

2CDG系列薄膜规在出厂时,真空计默认为垂直向上方向校准。薄膜规的工作原理是压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系。因为电容膜片本身存在重量的影响,所以真空计在安装方向上不同,膜片本身的形变也会变化,最后导致压力显示的结果出现偏差。所以非垂直向上安装,需要对真空计进行重新校准再使用。

 

以上资料参考文章有英福康相关资料和卫是电子相关资料!


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