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四极质谱残余气体分析仪特点应用及在工艺中的效果

发表时间：2011/4/6      点击次数：1875
四极质谱残余气体分析仪特点应用及在工艺中的效果

特点及应用：
•操作简单
•可靠，方便
•定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强
•优化工艺过程参数，提高镀膜产品质量
•在线原位分析真空环境及工艺气体
•对真空系统检漏
在工艺中的效果
•改善质量
•提高流片量
•缩小工艺周期
•改进工艺
•减少停机时间
•降低成本
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