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INFICON冷阴极和皮拉尼复合真空计详细说明

发表时间:2011/4/11      点击次数:2658

INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.




优点:

复合真空规—冷阴极与皮拉尼
高压加上时LED指示灯亮
易清洗
的引燃功能
无可烧毁的灯丝
FPM或金属密封的馈入件
宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
对数模拟输出讯号
应用:
蒸发和溅射系统的压强测量
高真空压强监测
一般真空测量和控制,从中至高真空范围
技术参数:

 测量范围空气, N2)
毫巴
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±30%
重复性1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±5%
安装方向
 
任何
允许压强
≤10 (限于惰性气体
允许温度
工作室温
贮存 
烘烤 1)
灯丝温度皮拉尼
 
°C
°C
°C
°C
 
+5 … +55
–40 … +65
150
120
电源电压
 
 
在规管上
V DC
+15 … +30
在供电单元上, zui大电缆长度 2)
V DC
+16 … +30
纹波
Vpp
≤1
功耗
W
≤2
连接保险丝
AT
≤1
输出讯号测量讯号
 
 
电压范围
V
0 … +10.5
测量范围
V
+1.82 … +8.6
电压与压强的关系
 
对数, 0.6 V/量级
误差讯号
V
<0.5 (无电源
 
V
>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂
输出阻抗
?
2 x 10
zui小负载阻抗
k?
10, 短路保护
响应时间      p > 10-6 毫巴
毫秒
<10
p = 10-8 毫巴
毫秒
≈1000
规管标识
k?
85, 参考电源公共点
状态
 
 
仅皮拉尼模式
V
0 (
复合皮拉尼 / 冷阴极模式
V
15 … 30 (
指示灯
LED 绿色
高压on
电气连接
 
FCC 68 设备连接件, 8,凹型
传感器电缆
 
8,加屏蔽
电缆长度
≤50 (8 x 0.14 毫米2
工作电压
千伏
≤3.3
工作电流
微安
≤500
暴露于真空的材料 
 
不锈钢, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W
不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W
内容积
厘米3
≈20
重量
 
 
DN 25 ISO-KF
≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF
≈720 ≈750
DN 40 CF-F
≈980 ≈1010
保护级别
 
IP 40
标准
 
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

0755-26028990
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