INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.
优点:
测量范围 (空气, N2) | 毫巴(乇) | 5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) | |
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 | % 读值 | ≈±30% | |
重复性1 x 10-8 … 100毫巴 | % 读值 | ≈±5% | |
安装方向 | | 任何 | |
允许压强 | 巴() | ≤10 (限于惰性气体) | |
允许温度 工作 (室温) 贮存 烘烤 1) 灯丝温度 (皮拉尼) | °C °C °C °C | +5 … +55 –40 … +65 150 120 | |
电源电压 | | | |
在规管上 | V DC | +15 … +30 | |
在供电单元上, zui大电缆长度 2) | V DC | +16 … +30 | |
纹波 | Vpp | ≤1 | |
功耗 | W | ≤2 | |
连接保险丝 | AT | ≤1 | |
输出讯号(测量讯号) | | | |
电压范围 | V | 0 … +10.5 | |
测量范围 | V | +1.82 … +8.6 | |
电压与压强的关系 | | 对数, 0.6 V/量级 | |
误差讯号 | V | <0.5 (无电源) | |
| V | >9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂) | |
输出阻抗 | ? | 2 x 10 | |
zui小负载阻抗 | k? | 10, 短路保护 | |
响应时间 p > 10-6 毫巴 | 毫秒 | <10 | |
p = 10-8 毫巴 | 毫秒 | ≈1000 | |
规管标识 | k? | 85, 参考电源公共点 | |
状态 | | | |
仅皮拉尼模式 | V | 0 (低) | |
复合皮拉尼 / 冷阴极模式 | V | 15 … 30 (高) | |
指示灯 | LED 绿色 | 高压on | |
电气连接 | | FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型 | |
传感器电缆 | | 8芯,加屏蔽 | |
电缆长度 | 米 | ≤50 (8 x 0.14 毫米2) | |
工作电压 | 千伏 | ≤3.3 | |
工作电流 | 微安 | ≤500 | |
暴露于真空的材料 | | 不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | 不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W |
内容积 | 厘米3 | ≈20 | |
重量 | | | |
DN 25 ISO-KF | 克 | ≈700 ≈730 | |
DN 40 ISO-KF | 克 | ≈720 ≈750 | |
DN 40 CF-F | 克 | ≈980 ≈1010 | |
保护级别 | | IP 40 | |
标准 | | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |