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CPM四极质谱分析仪特点详细分析

发表时间:2011/6/10      点击次数:1971
CPM四极质谱分析仪

CPM 的特点
■    用于监测复杂过程的四极气体分析系统.
■    允许7 天24 小时连续监测,达到zui大的产额和产量, 从而将成本降至zui低.
■    内置CDG, 用于过程压强监测和真空联锁.
■    HexBlock 取样系统的*性能.
■    备有可选的校准参考源, 用于调谐和气体参.
■    足够的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内.
■    封闭的长寿命离子源可在阻挡大多数腐蚀性和反应性气体的同时,检测亚ppm 量级的污染物.
■ 重量轻,易搬运.
 
用户优越性
INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:
■    测量气相反应;
■    定性气体纯度.
■    测量过程与本底的组分;
■    鉴别痕量污染物;
■   验证真空的完整性;
 
CPM 良好的适配性
空间是可贵的,我们的CPM占空间小,可灵活安装.为对被分析气体影响zui小和在宽压强范围内快速提供结果,我们开发了多功能的HexBlock 注入口. 为确保zui高的
性能与可靠性, 我们采用已在12,000 台以上Transpector 2 气体分析系统上得到验证的四极传感器.为适应某些复杂应用,如刻蚀和CVD 中存在腐蚀性*的气体, 我们采用化学惰性优等的316 不锈钢加工。
 
支持
作为半导体市场RGA 产品的者, INFICON 具有发展创新与可靠的,增长产量的监测系统资源,加上应用网络,需要时可随时随地提供专家支持与协助.
 
 
技术特点

1) 带EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留时间下  

2 )质量数40 对41amu 的贡献

3 )零blast 对2amu 的贡献

4 )低发射下的总压强精度

5 )低发射下的线性,在0.1 至2 倍常规小孔压强下

6 )使用总压强规管在低发射下的压强调值

7 )zui小可检浓度,氪在空气中在1-秒停留时间下

8 )在封闭型离子源中2E-4 乇,在四极场范围中将产生约1E-5 乇

9 )低发射下离子源zui大工作压强(灯丝关断阈值)

10) zui小EM 增益在zui大EM 电压下
0755-26028990
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