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XTC/3-薄膜镀层控制仪的用途特点及技术规范

发表时间:2011/6/17      点击次数:2461
XTC/3-薄膜镀层控制仪的用途特点及技术规范

特 点
■有单膜层和多膜层型号
■ModelLock技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程,999个膜层,32个镀层,2个
传感器和两个源
支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换,用于zui高生产率
易阅读的TFT LCD图形显示器
XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层,2个传感器和两个源
有以太网连接软件
单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows®软件选件
为便于检索,可*的和描述性的薄膜与过程名称
■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见(限于XTC/2功能和指令组)
 
    用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1技术,提供可靠的模式跳跃防 止功能,可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪,可高度地控制镀膜速率与膜层厚度,具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和*的可靠性,可确保高的生产率。
 

 
技术规范
功能,参数,或技术规范
XTC/3S单层膜
XTC/3M多层膜
测量分辨的频率变化
0.05Hz
0.05Hz
测量区间
0.25
0.25
厚度和速率分辨/测量
0.06A,在工具/密度=100
0.06A,在工具/密度=100
 
基频=6M Hz
基频=6M Hz
支持XTAL2转换
计算机通讯
RS232标准,以太网TCP/IP选件
RS232标准,以太网TCP/IP选件
zui大RS232波特率
115.2千波特
115.2千波特
继电器数
12标准, 无事例可
12标准, 事例可
可编程继电器功能数
1
1
每个继电器功能
1
1
继电器电压额定值
30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
 
42V,2.5
42V,2.5
输入数
8TTL, 24伏直流zui大
8TTL, 24伏直流zui大
可编程输入功能数
1, 无事例可
1, 事例
记入仪输入数
1
1
手动电源/手持控制器
排风扇
测试模式
挡光器延迟
次级工具
zui大允许相移频率
1.0 M Hz
1.0 M Hz
机箱尺寸
1/2机架,2U高度
1/2机架,2U高度
速率和膜厚显示分辨
0.1A, 0.099.9A/;1A/,
100999A/
0.1A, 0.099.9A/;1A/,
100999A/
 
显示膜厚分辨=1A
显示膜厚分辨=1A
通过输入选择镀层
用户指导语言
英文,中文
英文,中文
控制环
       PID
PID
数据登录
质量和稳定性功能
样品和保持
坩埚选择
坩埚反馈输入
选择控制电压极性
是,+/-2.5510
是,+/-2.5510
 
15-位分辨率
15-位分辨率
程序锁定码
       
       
用户标签过程/镀层
       
       
XTC/2 RS232通讯兼容性
是(有限的)
是(有限的)
0755-26028990
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