XTC/3-薄膜镀层控制仪的用途特点及技术规范

发表时间：2011/6/17 点击次数：2872

XTC/3-薄膜镀层控制仪的用途特点及技术规范

特点

■有单膜层和多膜层型号

■ModelLock技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差

■XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程，999个膜层，32个镀层，2个

传感器和两个源

■支持INFICON Crystal 12^TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换，用于zui高生产率

■易阅读的TFT LCD图形显示器

■XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层，2个传感器和两个源

■有以太网连接软件

■单独运行（无需计算机）或用PC运行的Windows®软件选件

■为便于检索，可*的和描述性的薄膜与过程名称

■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见（限于XTC/2功能和指令组）

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1技术，提供可靠的模式跳跃防止功能，可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪，可高度地控制镀膜速率与膜层厚度，具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和*的可靠性，可确保高的生产率。

技术规范

功能，参数，或技术规范	XTC/3S单层膜	XTC/3M多层膜
测量分辨的频率变化	＋0.05Hz	＋0.05Hz
测量区间	0.25秒	0.25秒
厚度和速率分辨/测量	0.06A,在工具/密度＝100	0.06A,在工具/密度＝100
	基频＝6M Hz	基频＝6M Hz
支持XTAL2转换	是	是
计算机通讯	RS232标准,以太网TCP/IP选件	RS232标准,以太网TCP/IP选件
zui大RS232波特率	115.2千波特	115.2千波特
继电器数	12标准, 无事例可	12标准, 事例可
可编程继电器功能数	1	1
每个继电器功能	1	1
继电器电压额定值	30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流	30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流
	42V峰,在2.5安	42V峰,在2.5安
输入数	8TTL, 24伏直流zui大	8TTL, 24伏直流zui大
可编程输入功能数	1, 无事例可	1, 事例
记入仪输入数	1	1
手动电源/手持控制器	是	是
排风扇	无	无
测试模式	是	是
挡光器延迟	是	是
次级工具	是	是
zui大允许相移频率	1.0 M Hz	1.0 M Hz
机箱尺寸	1/2机架,2U高度	1/2机架,2U高度
速率和膜厚显示分辨	0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从 100至999A/秒	0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从 100至999A/秒
	显示膜厚分辨=1A	显示膜厚分辨=1A
通过输入选择镀层	是	否
用户指导语言	英文，中文	英文，中文
控制环	PID	PID
数据登录	是	是
质量和稳定性功能	是	是
样品和保持	是	是
坩埚选择	是	是
坩埚反馈输入	是	是
选择控制电压极性	是，+/-2.5，5，10伏	是，+/-2.5，5，10伏
	15-位分辨率	15-位分辨率
程序锁定码	是	是
用户标签过程/镀层	否	是
XTC/2 RS232通讯兼容性	是（有限的）	是（有限的）