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真空检漏的工作条件

更新时间:2018-09-19      点击次数:2311
真空自耗电弧炉是目前世界上熔炼钛、锆等稀有金属的主要设备,由于其在真空下能有效的降低金属及其合金中的气体含量,更准确的控制化学成分,改善铸锭的质量等优势,因而被广泛应用。
 
 
检漏仪要工作必须使检漏仪内部真空系统正常工作,因此检漏仪机械泵8、分子泵1 和电磁阀V1 串联工作,达到质谱室所需要的高真空,满足离子源可靠工作时即达到检漏仪工作条件,即我们所说的自检通过。
 
②满足检漏口14 达到1000 Pa 以下,由于真空自耗电弧炉容积约2~3m3,因此无法使用检漏仪自身的真空泵进行炉室抽空,必须使用电弧炉的真空系统作为检漏仪的辅助系统对其抽空,从而满足检漏口1000 Pa 以下的使用要求。
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