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英福康残余气体分析仪的功能特点介绍

更新时间:2022-12-30      点击次数:548
  英福康残余气体分析仪是可靠的残余气体分析仪(RGA),拥有为气体分析,检漏和污染检测所需的高性能和低价格.这种简单易用的RGA具有业界的非常小的可检测分压强(MDPP),信噪比和数据收集速度.该气体分析仪提供了低总体拥有成本和高平均故障间隔时间(MTBFs)的经济而有效的解决方案。
  
  英福康残余气体分析仪的功能:
  
  1.应用于ALD、蚀刻、CVD,对残余气体进行过程监测和分析
  
  2.测量速度为每点1.8ms(每秒555点)
  
  3.在大多数苛刻CVD和蚀刻应用中,展现出经实践验证的耐久性和可靠性
  
  4.应用集成—TranspectorCPM集成FabGuard软件,由INFICON提供支持,是一款强大的过程监测与诊断工具
  
  5.紧凑尺寸—允许轻松集成到半导体生产设备
  
  6.Hexblock™含三个压力进口并减少表面积,以小化表面反应时间和响应时间
  
  7.电容隔膜计(CDG)—CDG允许用户监测过程压力,并自动保护系统不出现压力偏移
  
  8.自动校准—确保长期数据稳定性和精度,以便进行各传感器和工具的腔室匹配
  
  英福康残余气体分析仪用于myRGA传感器的现代化离子源设计将两根灯丝集成在阳极,阴极和反射极的组装件中.双灯丝设计中包含一根可使RGA具有较大上线时间的备用灯丝.使用myRGA,还可获得特定应用的灯丝选择(钨丝用于含卤素的过程或涂敷氧化钇的铱灯丝用于含氧的过程),确保过程本身不会缩短灯丝的寿命.更换myRGA中的灯丝套件相当于更换传统RGAs的整个离子源,节约成本,从而大大地降低总体拥有成本.
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