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英福康残余气体分析仪

简要描述:英福康残余气体分析仪Transpector CPM RGAINFICON CPM RGA(残余气体分析仪)是一台多功能、轻便、高性能气体分析仪,理想地用于现场监测复杂的过程。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-06-25
  • 访  问  量:1226
  • 产品资料:

详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

英福康残余气体分析仪的功能

应用于ALD、蚀刻、CVD ,对残余气体进行过程监测和分析

测量速度为每点 1.8 ms(每秒 555 点)

在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中,展现出经实践验证的耐久性和可靠性

应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件,由 INFICON 提供支持,是一款强大的过程监测与诊断工具

紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备

Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积,以小化表面反应时间和响应时间

电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力,并自动保护系统不出现压力偏移

自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度,以便进行各传感器和工具的腔室匹配


用户*性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:
■    测量气相反应;
■    验证真空的完整性;
■    鉴别痕量污染物;
■    测量过程与本底的组分;
■    定性气体纯度。
Type100 AMU CPM200 AMU CPM300 AMU CPM
分辨率1 amu wide @ 10% peak height1 amu wide @ 10% peak height1 amu wide @ 10% peak height
总压力范围¹5E-7 - 1E-3 Torr5E-7 - 1E-3 Torr5E-7 - 1E-3 Torr
总压力精度²+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
大离子源工作压力³1E-3 Torr1E-3 Torr1E-3 Torr
标称工作压力⁴2E-4 Torr2E-4 Torr2E-4 Torr
系统工作压力1E-8 Torr - 1.2 atm1E-8 Torr - 1.2 atm1E-8 Torr - 1.2 atm
灵敏度(低发射)> 4E-6 Amps/Torr> 2E-6 Amps/Torr> 1E-6 Amps/Torr
灵敏度(高发射)> 2E-5 Amps/Torr> 1E-5 Amps/Torr> 5E-6 Amps/Torr
小可检测分压⁵1E-13 Torr2E-13 Torr4E-13 Torr
大数据速率1.8 ms/point (555 points/sec)1.8 ms/point (555 points/sec)1.8 ms/point (555 points/sec)
丰度灵敏度⁶< 5 ppm< 10 ppm< 100 ppm
零冲击⁷< 2 ppm< 25 ppm< 200 ppm
检测限值⁸< 1 ppm< 2 ppm< 4 ppm
线性度⁹+/- 20%+/- 20%+/- 20%
小背景压力1E-8 Torr1E-8 Torr1E-8 Torr
大传感器和进气温°C度150150150

INFICON/英福康残余气体分析仪 Transpector CPM RGA

1.使用总压强镜头获得的离子源压强读数@低发射

2.总压强准确度@低发射

3.离子源大工作压强@低发射

4.2x10-4Torr的离子源将在四极区域产生大约1x10-5Torr的压强

5.EM开启且保压时间为1秒时离子源处的MDPP

6.质量数40对41 AMU的贡献

7.零冲击对2 AMU的贡献

8.空气中的氪的最小可检出浓度@ 1秒保压时间

9.适用于1 Torr孔板或更低设置。0.1至2倍标称孔板压强条件下的线性@低发射























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