SNEC 2026
第十九届 (2026) 国际太阳能光伏
与智慧能源(上海)大会暨展览会






氦气检漏:
又快又准,漏点无处藏
太阳能电池技术飞速发展,但设备泄漏成为重大挑战。以PECVD为例,泄漏会导致反应腔气体成分和压力失控,在HJT电池制造中会造成非晶硅钝化层生长不均,导致开路电压和填充因子下降,光电转换效率大幅降低。
UL6000 Fab 移动式氦气检漏仪

专为大型工艺工具设计,搭载英福康du you的 I·CAL 和 HYDRO·S 软件算法。紧凑机身可灵活穿梭于复杂产线,在所有测量范围内都能实现行业ling xian的响应速度,让泄漏检测既准确又高效。
SMART-Spray 无线氦气喷枪

che di告别软管束缚和手动流量调节。无线自由,操作灵活,即使在狭窄的洁净室空间内也能精准定位漏点。兼容全系列 UL 检漏仪,是 UL6000 Fab 的最佳搭档。

薄膜沉积控制:
钙钛矿共沉积的“精算师"
钙钛矿太阳能电池的大规模制造,极度依赖纳米级超薄膜层和共沉积技术。
Cygnus® 2 薄膜沉积控制器应运而生:

可同时控制多达六个材料源,满足复杂共沉积工艺需求;
Auto-Z™ 功能实时计算未知材料的 Z 比值,无需再依赖猜测;
在超低沉积速率下仍能提供稳定、实时的数据反馈;
支持从实验室顺利过渡到量产设备,保障产品一致性。
真空计系列:
全量程覆盖,精准掌控每一道压力
从大气压到超高真空,英福康真空计为光伏制造全流程提供可靠数据支撑。
CDG020D
电容式压力计
氧化铝陶瓷传感器,结构紧凑,不受气体类型影响;


CDG025D
电容式压力计
防腐蚀陶瓷传感器,零点稳定性出色,可承受数百万次压力循环;
PSG500
皮拉尼真空计
数字 Pirani 技术,不锈钢传感器坚固耐用;


BAG552
热电离真空计
Bayard-Alpert 测量系统,双灯丝设计,精度、重复性与寿命俱佳。
无论您的工艺是 PECVD、PVD 还是蒸发镀膜,都能在这里找到适合的那一款真空计。
残余气体分析仪:
ppm 级监测,为真空腔体筑牢防线
在高效电池的制造过程中,腔体内微量的污染气体或空气泄漏,都可能引发批次性良率下降,甚至导致整炉产品报废。及时发现并控制这些“隐形威胁",是保障工艺稳定性的关键。
Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪:可在 20 mTorr 高压环境下直接工作,70eV 电子轰击电离生成独特的质谱峰分布。空气漏点、气体纯度、碳氢化合物污染——实时捕捉,快速响应。

Transpector® MPH 则支持多气体并行监测,广泛用于真空工艺、薄膜沉积等场景,稳稳守护工艺稳定与质量控制。

从 PECVD 到 PVD,RGA 技术正以 ppm 级精度构建全链条质量保障体系。
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