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目前我们公司有ADL产品,欢迎大家的咨询!

更新时间:2026-07-07      点击次数:7

目前我们公司有ADL产品,欢迎大家的咨询!

尊敬的新老客户:

     您们好!目前我们公司有ADL产品,价格从优,欢迎大家的垂询!

    接下来我为大家介绍期中一款产品,ADL 双极 - 溅射 GXB还有HXB的产品!

        德国 ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH,真空镀膜专用直流 / 脉冲电源品牌,行业主流中频 / 双极溅射电源供应商。

2. 双极 - 溅射 Bipolar Sputtering

双极性脉冲磁控溅射,正负交替电压,用于绝缘靶(氧化铝、氧化锆、氮化硅等),正向脉冲中和靶表面积累正电荷,抑制靶面打火、消除靶中毒。

3. 双极脉冲产生器 SB

SB = Separate Bipolar,外置独立双极脉冲模块(SB150/SB300),不能单独使用,必须搭配 GX/HX 直流电源主机组合输出双极中频脉冲(22.5kHz)。

组合形式:GX + SB / HX + SB

工作逻辑:GX/HX 提供直流功率母线,SB 模块做 H 桥正负脉冲切换,输出对称 / 非对称双极方波。

GXB整机

GXB后侧接口

4. GX / HX 直流电源主机(搭配 SB 外置脉冲器)

表格

型号功率区间定位结构

GX 系列5kW ~ 15kW(GX50~GX150)中小功率溅射,½19" 3U 机箱,紧凑型,适合中小镀膜机、光学 / 装饰膜水冷、浮动输出、极速灭弧

HX 系列15kW ~ 30kW(HX150~HX300)大功率工业溅射,½19" 5U 机箱,可多台并联至 240kW,硬质涂层、玻璃大靶材量产线分体水冷、耐恶劣产线环境

二、GXB / HXB 一体化内置双极脉冲电源(整机一体,无需外置 SB)

命名规则

GXB = GX + Bipolar:GX 直流电源内部集成双极脉冲电路,一体化整机,无需外接 SB 模块

HXB = HX + Bipolar:HX 大功率直流电源内置双极脉冲,大功率一体化双极溅射电源

核心区别:分体式(GX/HX+SB) vs 一体式(GXB/HXB)

分体方案:GX + SB / HX + SB

两台设备:直流主机 GX/HX + 独立 SB 脉冲发生器

优势:灵活搭配,可单独用 GX/HX 做直流溅射,需要双极时再接 SB;便于后期扩容改造旧设备

劣势:占用两层机柜,接线复杂,成本更高

一体方案:GXB / HXB

单台整机,直流源 + 双极脉冲模块集成在同一机箱

代表型号:GXB50(5kW 一体化双极)

优势:布线简洁、占地面积小、调试简单,新设备标配绝缘靶工艺

劣势:只能做双极脉冲,无法单独切纯直流模式

三、工艺用途总结

GX+SB / GXB:中小功率绝缘靶溅射(光学膜、装饰氧化膜、薄介质层)

HX+SB / HXB:大功率工业量产,大面积玻璃、刀具硬质绝缘涂层、ITO / 氧化物连续镀膜

SB 外置方案适合一机多用(直流金属靶 + 双极绝缘靶切换);GXB/HXB 适合固定绝缘靶生产线

四、关键共性参数

标准脉冲频率:22.5kHz

自带电流比例闭环控制,自动调节正负脉冲功率配比

内置自动电弧抑制,实时灭弧,保护靶材与电源

全水冷散热,适配 24h 连续工业生产

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