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一、基础定义
PSG5xx 系列(标准皮拉尼规,粗 / 低真空)
PCG55x 系列(对流增强皮拉尼)
MPG500 复合规(皮拉尼 + 反磁控,大气压~超高真空)
输入:100~240V AC 50/60Hz,功耗≤30VA
单通道,仅接 1 支真空规
4 位数字 LCD 显示屏
单位可切换:mbar / Pa / Torr
模拟量 0~10.3V:可直连 PLC、记录仪做压力采集
1 路继电器设定点
浮动转换触点,50VAC / 5A
设定范围:1×10⁻³ ~ 500 mbar
回差≥测量值 10%,用于泵启停、联锁保护
规管接口:9 针 D-Sub 公头
整机支持面板嵌入式、台式、19 英寸机架安装
自动识别接入的真空规型号,断线 / 灯丝故障报警
单路压力数值实时显示,一键切换单位
可自定义压力阈值,继电器输出做设备联锁
0-10V 模拟信号上传工控系统,适配溅射镀膜产线自动化
CE、UL 认证,工业 24 小时连续运行
磁控溅射机前级机械泵真空监测(GX/HX/GXB 电源配套粗真空监控)
真空镀膜、光学膜、装饰膜生产线腔体预抽压力监控
半导体设备、真空热处理、灯管真空产线
冷媒抽注、真空检漏工位压力显示
398-802:标准市电版 PGD500(100-240VAC,国内通用款)
无其他细分型号,整机标配电源线 + 操作手册。
PGD400:无继电器设定点,仅显示 + 模拟输出
PGD500(398-802):带 1 路继电器联锁,产线自动化shou xuan,镀膜机标配型号。


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