INFICON 英福康 CDG025D-X3 电容薄膜真空计

一、型号编码解读

1. 3CB1：CDG025D-X3 标准常温款基础订货前缀

2. F51：量程代码 = 1000 Torr，接口代码 = DN16 ISO-KF 卡箍法兰

3. 230B：电气配置：0–10V 模拟输出、双路继电器设定点、RS232 通讯、15 针 D-Sub 接头

4. CDG025D-X3：产品系列名

• CDG=Capacitance Diaphragm Gauge 电容薄膜真空计

• 025D=SKY 系列数字电路板、内置温度补偿

• X3 = 第三代数字电子，带一键归零、两路压力开关

二、核心技术参数（1000 Torr 量程）

1. 测量范围

• 满量程 FS：0～1000 Torr（0～1100 mbar）绝对压力

• 最小可靠读数：0.05% FS；zui di可测 0.01% FS

• 耐压上限：400 kPa（可直接接触大气压，耐受频繁破真空冲击）

2. 精度与稳定性

• 测量精度：±0.2% 读数（全量程zui you级）

• 分辨率：0.003% FS

• 零点温漂：0.005% FS/℃；量程温漂：0.01% 读数 /℃

• 无气体依赖性：对 N₂、Ar、O₂、H₂、工艺腐蚀气体读数一致，无需气体修正

3. 响应速度

• 高压段（≥0.25 Torr）：30 ms

• 低压段：≤130 ms，适合快速真空闭环控制

4. 气路材质（接触介质）

• 传感膜片：高纯氧化铝陶瓷（耐酸碱、耐腐蚀、数百万次压力循环寿命）

• 阀体 / 法兰：AISI 316L 不锈钢

• 无油、无有机密封污染，符合半导体洁净室标准

5. 电气规格

• 供电：DC +14～+30 V，宽压适配设备 24V 工控电源

• 模拟输出：0～10.24 V 线性输出（0V=0 Torr，10V=1000 Torr），输出阻抗 0Ω 短路保护，负载≥10kΩ

• 开关量：2 路独立浮地继电器设定点（SP1/SP2），30V/0.5A DC，带 1% FS 回差

• 通讯：内置 RS232（9600 波特，二进制协议，支持上位机读取压力、远程归零）

• 接头：15 针 D-Sub 公头，带状态指示灯、面板一键归零按键

6. 使用环境

• 工作温度：+5～+50℃

• 法兰最高烘烤温度：≤110℃（不可高温烘烤规体）

• 存储：-20～+65℃；湿度 10–90% RH 无凝露

三、核心优势

1. 陶瓷传感器：抗腐蚀、零点漂移极小，反复通大气不易偏移，适合蚀刻 / CVD/PVD 半导体工艺

2. 全数字温度补偿，开机快速稳定，破真空后恢复测量速度快

3. 内置双设定点，可直接联动阀门、泵组、报警，无需额外比较模块

4. 一键本地归零 + 远程 RS232 归零，长期维护简单

5. 自带传感器双层防污染屏蔽，减少工艺粉尘、副产物附着漂移

6. 法兰标准 DN16 KF，通用真空管路，拆装便捷

四、典型应用场景

• 半导体：刻蚀、CVD、PVD、ALD 设备腔体压力监测与闭环控制

• 光学 / 光伏镀膜、等离子清洗、热处理气氛炉

• 实验室高精度真空配比、气体分压控制、检漏配套

• 工业真空设备、锂电池真空注液、真空钎焊