CDG045D3CC1-351-2300 目前有现货，欢迎大家的咨询！

一、型号全称拆解

1. CDG045D

   CDG=Capacitance Diaphragm Gauge 电容薄膜规；045=45℃恒温加热；D = 数字型，带双路继电器设定点、0~10V 模拟输出

2. 3CC1：接口与电气编码

• 3：标配2 路压力阈值继电器（SP1/SP2，镀膜机联锁工艺bi bei）

• CC1：标准 15 针 D-Sub 模拟信号接口，0~10V 线性输出，无工业总线（EtherCAT/Profinet）

3. 351：量程编码

   351 = 0.1 Torr（100 mTorr）满量程

   测量区间：0.0001~0.1 Torr，高精度中高真空规，不受气体种类影响（氩气 / 氧气 / 氮气读数一致）

4. 2300：法兰规格

   DN16 ISO-KF 快卸法兰（KF16），镀膜腔体通用标准接口

二、核心硬件参数

1. 测量性能

• 恒温：45℃控温，抑制温度漂移，等离子溅射工况长期稳定

• 精度：读数的 ±0.15%（高精度级，半导体 / 光学镀膜标配）

• 分辨率：0.003% FS

• 输出：0~10V DC 线性模拟信号，可直连 PGD500、VGC 控制器、PLC 采集

• 两路继电器设定点：无源触点，用于溅射腔真空联锁、工艺启停保护INFICON

• 响应速度：≤30ms，压力变化实时反馈

2. 结构与材质

• 传感膜片：99.5% 高纯氧化铝陶瓷，耐等离子腐蚀、抗靶材溅射污染

• 真空接触面：316L 不锈钢，可轻度烘烤≤110℃法兰温度

• 允许过载：3bar；爆破压力 6bar，意外进气不易损坏

3. 电气供电

• 供电：14~30V DC（工业标准 24V 供电）

• 功耗低，预热速度比老款缩短 50%，开机快速进入稳定测量

三、配套设备（和你前面型号成套使用）

1. 搭配表头：PGD500（398-802） 单通道真空显示控制器，读取 CDG 压力数值、读取继电器阈值

2. 工艺设备：ADL GXB/HXB 双极溅射电源，用于 PVD 磁控溅射腔体工艺真空精准监控

• 粗真空：PSG500 皮拉尼规 + PGD500

• 工艺高精度真空：CDG045D 0.1Torr 电容规

四、典型应用场景

1. 光学镀膜、ITO 氧化物、绝缘靶双极溅射生产线

2. 半导体 PVD、CVD、蚀刻设备工艺压力闭环控制

3. 高精度真空实验、薄膜沉积工艺真空闭环调节

4. 等离子工艺，避免皮拉尼规气体修正误差