爱发科（ULVAC）模块化检漏仪，适用于氦检设备的快速设计和生产

一、产品基础信息

• 品牌：ULVAC 日本爱发科（真空设备头部厂商）

• 设备名称：HELIOT MONO 紧凑型集成式氦检漏仪（Helium Leak Detector）

• 定位：专为自动化产线、真空设备配套嵌入设计的模块式检漏设备，非手持独立台式机型

二、外观接口解读（图中背面）

1. 两个真空法兰口

• PUMP LINE：前级泵连接口

• TEST PORT：被测工件检漏接口

2. 电气通讯接口区

• 电源输入端子：整机供电

• 串口 / 网口：RS232、以太网通讯，对接产线 PLC

• 大尺寸 D-SUB 多针接口：数字 IO 控制、报警输出、外部触发，适配自动化流水线联动

3. 侧面格栅：分子泵 / 机械泵散热风道

三、核心特性

1. 小型轻量化

   尺寸 360×229×310 mm，整机约 13 kg，可直接集成在真空腔体、自动化测试工装内部，节省产线空间。

2. 高速检测

   优化抽气与测量回路，大幅缩短单件检漏节拍，提升生产线吞吐量；100Pa 下抽速 3.0 L/s，允许被测腔室最高 100Pa 压力直接接入检测。

3. 高灵敏度

   最小可检漏率＜5×10⁻¹³ Pa・m³/s，覆盖精密零部件微漏检测需求；支持氦气（⁴He）标准示踪检测。

4. 易维护设计

   外壳免工具拆卸，内部离子源、过滤组件更换简单，产线停机维护时间短。

5. 全自动化适配

   完备数字 IO、总线通讯，支持外部触发、自动清零、漏率信号上传、故障报警联动，适配半导体、真空镀膜、汽车零部件气密自动化产线。

四、典型应用场景

• 半导体真空腔体、晶圆载具检漏

• 锂电池 / 燃料电池封装气密性检测

• 真空镀膜、光学真空设备腔体测漏

• 空调压缩机、阀门、传感器等精密零部件自动化气密检测

• 医疗真空器械、航天小型部件检漏

五、使用优势