BROOKS SLA5800 系列 热式气体质量流量控制器（MFC）

一、基础概述

1. 流量控制型：SLA5850 / 5851 / 5853

2. 压力控制型：SLA5810 / 5820 / 5840

3. 纯测量流量计：SLA5860 / 5861 / 5863

二、核心性能参数

1. 流量量程（N₂当量）

• SLA5850：0.003 ~ 50 slpm（最小 3 sccm），调节比 100:1

• SLA5851：50 ~ 1200 slpm，调节比 50:1

• SLA5853：1200 ~ 2500 slpm，调节比 50:1

2. 精度与稳定性

• 精度：20%~100% 满量程 ±0.9% 设定值；＜20% 量程 ±0.18% 满量程

• 重复性：±0.2% 设定值

• 零点漂移：年漂移＜0.2% FS（行业顶尖长期稳定性）

• 响应时间：0→100% 阶跃调节稳定时间＜1s

3. 压力与温度

• 标准耐压：1500 psi（100 bar），高压可选 4500 psi（310 bar）

• 工作温度：-14℃ ~ 65℃

• 最小压差：5 psi（0.35 bar）即可稳定控流

三、核心功能亮点

1. 多气体预存曲线

   内置最多 10 组气体校准参数，单台设备可切换多种工艺气体（Ar、N₂、O₂、SF₆、NH₃等），大幅减少备品型号。

2. 丰富通讯接口

• 模拟信号：0-5V / 4-20mA

• 数字总线：RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT，适配半导体 PLC、真空自动化产线

3. 独立诊断维护端口

   外置专用调试接口，无需停机拆装即可读取故障、校准零点，降低产线停机时长。

4. 低泄漏切断阀

   阀门泄漏率极低：≤150 slpm 型号泄漏＜0.005 sccm，可省去后端截止阀，简化气路设计。

5. 防爆合规认证

   具备 ATEX、IECEx、UL Class I Div2 防爆认证，可用于可燃 / 腐蚀性工艺气体场景；生物版本提供 USP Class VI 食品医药级密封件。

6. 模块化易维护

   传感器、阀体独立模块，现场可快速更换，金属外壳抗工装磕碰损伤。

四、典型应用场景

1. 半导体真空工艺

   刻蚀、薄膜沉积、离子注入设备，搭配 ULVAC 氦检仪、真空计组成整套真空气路控制系统

2. 新能源行业

   锂电池烧结、燃料电池催化反应、高压 CO₂合成实验

3. 实验室 / 化工催化

   催化剂筛选、微反应装置、气相配比实验

4. 生物制药

   生物发酵罐供气、无菌工艺气体配比（Biotech 定制款）

5. 真空镀膜、光学器件制造

五、同行业定位对比

• 优势：耐压等级高、零点长期漂移极小、总线协议齐全，适配 24h 连续量产自动化产线；

• 区分：相比金属密封高温 MFC（SLAMf 系列），SLA5800 为弹性密封，成本更低、维护简便，适合常温常规工艺气体；高温、强腐蚀工况选用 SLAMf。

六、配套搭配（结合你之前的 ULVAC 检漏仪）