Product Center

产品中心

当前位置:首页  >  产品中心  >  石英晶体膜厚控制仪  >  INFICON  >  ALDINFICON 探头(传感器)

INFICON 探头(传感器)

简要描述:INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平(QCM)测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。ALD 传感器可承受高达 450ºC 的高温,设计在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极*接地以有效地消除与电干扰有关的任何潜在问题。

  • 产品型号:ALD
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-20
  • 访  问  量:778
  • 产品资料:查看pdf文档

详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

INFICON ALD探头(传感器)

在 ALD 应用中实现准确度、正常运行时间和最少维护
INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平(QCM)测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。ALD 传感器可承受高达 450ºC 的高温,设计在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极*接地以有效地消除与电干扰有关的任何潜在问题。
专为 ALD 而设计
INFICON ALD 传感器*的一种功能是导气管,通过它可使用惰性气体吹扫晶体和传感器后侧,通常使用氮气。这可防止反应室的气体进入传感器头,并确保晶体背面和电气触点无沉积材料。这种技术可在不适合使用标准 QCM 的系统中实现现场测量。
馈入件和馈入件连接
INFICON ALD 传感器可采用自定义焊接长度,也可采用长度可调的压缩接头而无需铜焊或焊接。所有配置都使用 2 3/4in. (CF40) ConFlat® 法兰馈入件。
高温晶体实现更准确的测量
与 INFICON 的新型高温石英晶体结合使用时,INFICON ALD 传感器可在高温应用中达到测量精度和较低的频率噪声。这些高温晶体针对 120、240 和 285°C 应用进行了优化,因此您总能获得适合自己应用的正确晶体。也可提供针对其他温度优化过的晶体。请根据自己的需求联系 INFICON。

功能

  • 工作温度高达 450°C

  • 气体吹扫管路可防止晶体背面出现沉积材料

  • 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件

  • O 形密封环压缩接头选件

  • 提供高温晶体

好处

  • 与大多数 ALD 过程温度兼容

  • 明显减少维护工作

  • zuidahua系统运行时间

  • zuidahua测量精度

  • 在高过程温度下可获得低噪声的稳定读数

典型应用

  • 原子层沉积 (ALD)

1.png








产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
0755-26028990
欢迎您的咨询
我们将竭尽全力为您用心服务
在线客服
添加好友
添加好友
版权所有 © 2024 深圳市科锐诗汀科技有限公司  备案号:粤ICP备13061707号
技术支持:仪表网  管理登陆  sitemap.xml