APC钟摆阀

简要描述：APC钟摆阀标准闸阀表面处理:镀镍、硬阳Htc真空3位置鐘擺閥通過可調控制氣缸實現真空隔離和真空壓力控制。

产品型号：
厂商性质：代理商
更新时间：2024-04-12
访问量：929
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产品分类

详细介绍

品牌	其他品牌	产地	进口
加工定制	否

APC钟摆阀的应用

高科技制程后段压力控制和隔离阀

应用产业

>> SEMI - 半导体

>> FPD - 光电面板

>> CVD - 化学气相沉积

>> Solar - 太阳能

APC钟摆阀特点

集成整合压力控制

精确的压力控制

密实的隔离

反应时间快

友善简易操作使用接口

APC钟摆阀的规格

真空计电压 : 24V DC or ±15V DC

备用电源 : Yes

真空计输入

－真空计数量：2 pcs

－真空计数值: 线性 / 指数 t

－真空计输出电压：0-10V DC 线性压力

－输入电阻：Ri=21 k Ω

－分辨率：2.3 mV

－采样时间：1ms

控制精度：真空计最大量程的 0.1%

仿真\通讯简易控制

位置分辨率：8000 (step 0-75° rotation)

环境温度: 70°C max(控制器可持续 -24HR)

APC 软件功能

使用APC软件可提供便利操作功能通过计算机控制

设置控制参数的调整: GAIN

压力和位置控制模式

附表测试模式=> 1 cycle schedule

设置阀打开/关闭速度

记录APC 硬件/软件版本, 序列号和型号

记录阀门循环和运行时间

设置公差范围的压力

循环寿命和压力控制记录

控制器参数上传和下载

断电保护功能

屏幕截图

控制和执行单元
输入电压	+24 VDC(±10%)	连接器: POWER
功率消耗	150W(controller + motor)	连接器: POWER
真空计电源输出	+24 VDC /+-15VDC， 500 mA	连接器: SENSOR
模拟输入
真空计数量	独立两频道	连接器: SENSOR
输入电压	0-10V DC linear	连接器: SENSOR
分辨率	2.3 mV	连接器: SENSOR
输入电阻	Ri=21kΩ	连接器: SENSOR
模拟输出
真空计数量	独立两频道	连接器: INTERFACE
输出电压	0-10V DC linear	连接器: INTERFACE
数字输出/入
输入	独立两频道	连接器: INTERFACE
输出	独立两频道	连接器: INTERFACE
可接受工作温度
阀门本体	120 ℃
控制器	70 ℃
控压精度	0.1% of maximum sensor range
位置分辨率	8000 (step 0-90〫rotation)
备用电源	Yes
ISO 200
关闭时间	<1.2sec
开启时间	<1.2sec
阀门最大扭拒	270kg-cm
ISO 250
关闭时间	<1.2sec
开启时间	<1.2sec
阀门最大扭拒	880kg-cm
ISO 320
关闭时间	<3.0sec
开启时间	<3.0sec
阀门最大扭拒	880kg-cm

规格数据
材质	本体		A6061-T6
	阀板		A6061-T6
使用寿命	关闭/开启寿命		200,000 cycles
	压力控制寿命		1,000,000 cycles
氦气泄漏率(一大气压压差)	本体铝合金		＜1×10-9 mbar .l /sec
	本体铝合金 ,超硬阳极处理		＜1×10-5 mbar .l /sec
烘烤温度	本体		≤ 120 ℃
	驱动器		≤ 70 ℃
	控制盒		≤ 70 ℃
压力范围	铝合金		1×10-8 mbar to 1.2 bar
	铝合金 ,超硬阳极处理		1×10-6 mbar to 1.2 bar
最大压差	1.2 bar
开启前压差	≤ 5 mbar
压缩空气压力	4 ~ 6 Kg/cm²
开/关时间(秒)	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	1.2/1.2	1.2/1.2		2.0/2.0
密封圈材质	阀板		Viton O-ring
	阀盖		Viton O-ring
重量	ISO 200	ISO 250		ISO 320
	22Kg	31Kg		51Kg
驱动器	步进马达
安裝位置	水平 / 垂直			水平
选配	A. 其他密封圈材质 B. 加热器

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