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APC钟摆阀

简要描述:APC钟摆阀标准闸阀表面处理:镀镍、硬阳Htc真空3位置鐘擺閥通過可調控制氣缸實現真空隔離和真空壓力控制。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-07-19
  • 访  问  量:1138
  • 产品资料:

详细介绍

品牌其他品牌产地进口
加工定制

APC钟摆阀的应用

高科技制程后段压力控制和隔离阀

应用产业

>> SEMI - 半导体

>> FPD - 光电面板

>> CVD - 化学气相沉积

>> Solar - 太阳能

APC钟摆阀特点

集成整合压力控制

精确的压力控制

密实的隔离

反应时间快

友善简易操作使用接口


APC钟摆阀规格

真空计电压 : 24V DC or ±15V DC

备用电源 : Yes

真空计输入

- 真空计数量:2 pcs

- 真空计数值: 线性 / 指数 t

- 真空计输出电压:0-10V DC 线性压力

- 输入电阻:Ri=21 k Ω

- 分辨率:2.3 mV

- 采样时间:1ms

控制精度:真空计最大量程的 0.1%

仿真\通讯简易控制

位置分辨率:8000 (step 0-75° rotation)

环境温度: 70°C max(控制器可持续 -24HR)


APC 软件功能

使用APC软件可提供便利操作功能通过计算机控制

设置控制参数的调整: GAIN

压力和位置控制模式

附表测试模式=> 1 cycle schedule

设置阀打开/关闭速度

记录APC 硬件/软件版本, 序列号和型号

记录阀门循环和运行时间

设置公差范围的压力

循环寿命和压力控制记录

控制器参数上传和下载

断电保护功能

屏幕截图

APC钟摆阀

控制和执行单元

输入电压

+24 VDC(±10%)

连接器: POWER

功率消耗

150W(controller + motor)

连接器: POWER

真空计电源输出

+24 VDC /+-15VDC, 500 mA

连接器: SENSOR

模拟输入

真空计数量

独立两频道

连接器: SENSOR

输入电压

0-10V DC linear

连接器: SENSOR

分辨率

2.3 mV

连接器: SENSOR

输入电阻

Ri=21kΩ

连接器: SENSOR

模拟输出

真空计数量

独立两频道

连接器: INTERFACE

输出电压

0-10V DC linear

连接器: INTERFACE

数字输出/入

输入

独立两频道

连接器: INTERFACE

输出

独立两频道

连接器: INTERFACE

可接受工作温度

阀门本体

120 ℃

控制器

70 ℃

控压精度

0.1% of maximum sensor range

位置分辨率

8000 (step 0-90〫rotation)

备用电源

Yes

ISO 200

关闭时间

<1.2sec

开启时间

<1.2sec

阀门最大扭拒

270kg-cm

ISO 250

关闭时间

<1.2sec

开启时间

<1.2sec

阀门最大扭拒

880kg-cm

ISO 320

关闭时间

<3.0sec

开启时间

<3.0sec

阀门最大扭拒

880kg-cm


规格数据



材质

本体

A6061-T6



阀板

A6061-T6



使用寿命

关闭/开启寿命

200,000 cycles



压力控制寿命

1,000,000 cycles



氦气泄漏率(一大气压压差)

本体
铝合金

<1×10-9 mbar .l /sec



本体
铝合金 ,超硬阳极处理

<1×10-5 mbar .l /sec



烘烤温度

本体

≤ 120 ℃



驱动器

≤ 70 ℃



控制盒

≤ 70 ℃



压力范围

铝合金

1×10-8 mbar to 1.2 bar



铝合金 ,超硬阳极处理

1×10-6 mbar to 1.2 bar



最大压差

1.2 bar



开启前压差

≤ 5 mbar



压缩空气压力

4 ~ 6 Kg/cm²



开/关时间(秒)

ISO 200

ISO 250

ISO 320



1.2/1.2

1.2/1.2

2.0/2.0



密封圈材质

阀板

Viton O-ring



阀盖

Viton O-ring



重量

ISO 200

ISO 250

ISO 320



22Kg

31Kg

51Kg



驱动器

步进马达



安裝位置

水平 / 垂直

水平

选配

A. 其他密封圈材质
B. 加热器




































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