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英福康复合真空计

简要描述:英福康复合真空计多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装,在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-09-30
  • 访  问  量:1166
  • 产品资料:

详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

英福康复合真空计的优点好处

从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预

符合 RoHS 标准

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制


英福康复合真空计典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制










































































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