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INFICON薄膜沉积监控器

简要描述:SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。

  • 产品型号:SQM160
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-18
  • 访  问  量:6677
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详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

SQM-160多层膜速率/膜厚监测仪

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。

传感器输入可分配给不同的材料,在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制,或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器,从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s,用户可自行选择。此外,还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入,SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

功能

  • 两个标准测量通道,另外四个可选

  • 模拟输出便于记录速率/厚度

  • 高分辨率选件:0.03 Hz,10 读数/秒

  • RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网













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