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EDWARDS复合涡轮分子泵

简要描述:BOC Edwards EXT泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

  • 产品型号:EXT75DX
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-06-14
  • 访  问  量:1773
  • 产品资料:

详细介绍

品牌Edwards/爱德华产地进口
加工定制


性能特点

兼容TIC涡轮仪表控制器。

多种通讯模式。

并口,用于传统控制信号接口。

串口,用于RS-232接口。

通过RS-232接口,用户可以设置各种参数RS-232。

正常泵速显示。

准备转速显示。

泵温。

增强型泵速、功耗、温度监测。

技术数据

入口法兰                       DN63ISO-K

压缩比

N2                            >1 x 10E11

He                            1 x 10E6

出口法兰                       DN16NW

级间口(Hi型)                DN25NW

放气口                         1/8 inch BSP

吹扫净化口                     1/8 inch BSP

zui高入口压力(抽轻气体) *

水冷(水温15°C,大气温度40°C)     2 x 10E-2 mbar

空冷(大气温度35°C)                 1 x 10E-2 mbar

额定转速                       90000 rpm

工作转速                       49500~90000 rpm (缺省 63000 rpm)

转速达到90%所需时间 **        110 s

冷却方式                       空冷/水冷

大气温度(空冷)               5-35 °C

冷却水zui低流速(水温15 °C    15 l/h

水温范围                       10-20 °C

入口法兰zui高温度               100 °C

工作姿态                       垂直

噪音(1m处)                  <50 dB(A)

控制器(推荐)                 TIC100 涡轮控制器或TIC100涡轮仪表控制器

重量                           3.0 kg


   前级泵也可以使用抽速更大的旋片泵,还可使用极限真空小于5mbar的隔膜泵。
   * 超出该入口压力时,转速为额定转速。
   ** 此时功率80W。
   *** 没安装入口筛网。安装筛网时,泵速下降约10%。
       前级泵为两级旋片泵,并烘烤48小时。
       Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小时。

订货信息


描述

货号

EXT75DX ISO63

B722-41-000

EXT75DX CF63

B722-42-000

EXT75DX NW40

B722-43-000

EXT75DX ISO100

B722-45-000

EXT75iDX ISO63 级间法兰DN25NW

B722-38-000

TIC 涡轮控制器 100W RS232

D397-11-000

TIC 涡轮仪表控制器 100W RS232

D397-21-000



















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