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EDWARDS复合涡轮分子泵

简要描述:EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵BOC Edwards EXT泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

  • 产品型号:EXT556H
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-18
  • 访  问  量:4669
  • 产品资料:

详细介绍

品牌Edwards/爱德华产地进口
加工定制

EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵

性能特点

高临界前级压力。

高体积流速。

* 抽速快。

多级Holweck分子拖曳结构,对轻气体产生高压缩比。

极限真空<10E-10 mbar 。

复合轴承。

免维护。

EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵

技术数据


主入口法兰                                      DN160ISO-K


出口法兰

DN25NW

放气口

1/8 inch BSP

吹扫净化口

1/8 inch BSP

入口泵速*



N2

540 l/s

He

580 l/s

压缩比

N2

>10E10

He

10E8

前级泵(推荐)

RV12

zui高入口压力( N2, He)**

水冷(水温15°C)

2 x 10E-3 mbar

空冷(大气温度30°C)

1 x 10E-3 mbar

空冷(大气温度35°C)

5 x 10E-4 mbar

额定转速

50000 rpm

转速达到90%所需时间 **


EXC250

5 min

EXC300

6.5 min

EXDC160

8 min

冷却方式

空冷/水冷

大气温度(空冷)

0-35 °C

推荐冷却水流速(水温15 °C)

15 l/h

水温范围

10-20 °C

入口法兰zui高温度

100 °C

工作姿态

垂直

噪音(1m处)

<60 dB(A)

zui大磁场

轴向

<7 mT


径向

<3 mT

静止功耗

35 W

   * 没安装入口筛网。安装筛网时,泵速下降约20%。
   ** 前级压力<0.3 mbar,大于此转速下降。

EXT556H EDWARDS复合涡轮分子泵

安装尺寸


A 入口ISO100

B 入口ISO160

C 放气口

D 接地

E 吹扫净化口

F 前级泵口

G 电连接

H 底部安装孔(8个)/橡胶脚(4个)


EXT556H涡轮分子泵特性曲线



订货信息


描述

货号

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160ISO-K

B777-51-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160CF

B777-52-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160ISO-K (马氏体外壳)

B777-57-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160CF (马氏体外壳)

B777-58-000

EXT556H 复合涡轮分子泵 DN160ISO-K (精美入口筛网)

B777-61-000

EXC250E

D396-35-000

EXC250L

D396-36-000

EXC300

D396-14-000






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