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EDWARDS复合涡轮分子泵

简要描述:BOC Edwards EXT泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

  • 产品型号:EXT406PX
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-18
  • 访  问  量:3964
  • 产品资料:

详细介绍

品牌Edwards/爱德华产地进口
加工定制

BOC Edwards EXT406PX泵

性能特点

真空系统简单

* 可以选用较小的前级泵。

* 降低真空系统体积与功耗。

* 前级压力在8mbar就可启动,入口负载可达2E-3 。

* 前级压力在8mbar就可启动,入口负载可达2E-3 。

* 前级压力为17mbar时,还可维持正常转速。

非常适合于与隔膜泵联用,特别适用于抽H2。

兼容24v DC Edwards TIC涡轮控制器或涡轮仪表控制器。

* 也可使用用户自己的24V DC电源。

技术数据


入口法兰          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

压缩比

N2

>1 x 10E11

He

1 x 10E6

出口法兰(前级泵口)

DN25NW

前级泵(推荐)

XDS10或RV12(或其它更小的,依应用而定)

放气口

1/8 inch BSP

吹扫净化口

1/8 inch BSP

zui高入口压力(空气) *



水冷(水温15°C,大气温度40°C)

0.008mbar


空冷(大气温度35°C)

0.012mbar

额定转速

60000 rpm

转速达到90%所需时间 **

285 s

冷却方式

空冷/水冷

大气温度(空冷)

5-35 °C

冷却水zui低流速(水温15 °C)

15 l/h

水温范围

10-20 °C

入口法兰zui高温度

100 °C

工作姿态

垂直

噪音(1m处)

<45 dB(A)

zui大磁场

5 mT

静止功耗

25~40 W

EXT406PX涡轮分子泵安装尺寸

A EXDC控制器

B 前级泵口

C 罗茨泵口

D 吹扫净化口

E 放气口

F 接地


EXT406PX涡轮分子泵特性曲线



订货信息


描述

货号

EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100ISO入口法兰

B760-31-991

EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100CF入口法兰

B760-32-991

EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160ISO入口法兰

B760-41-991

EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160CF入口法兰

B760-42-991

EXDC160 24 V

D396-46-000






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