EDWARDS复合涡轮分子泵

简要描述：BOC Edwards EXT泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

产品型号：EXT406PX
厂商性质：代理商
更新时间：2024-04-18
访问量：3966
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详细介绍

品牌	Edwards/爱德华	产地	进口
加工定制	否

BOC Edwards EXT406PX泵

性能特点

真空系统简单

* 可以选用较小的前级泵。

* 降低真空系统体积与功耗。

* 前级压力在8mbar就可启动，入口负载可达2E-3 。

* 前级压力为17mbar时，还可维持正常转速。

非常适合于与隔膜泵联用，特别适用于抽H2。

兼容24v DC Edwards TIC涡轮控制器或涡轮仪表控制器。

* 也可使用用户自己的24V DC电源。

技术数据

入口法兰 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF
压缩比
	N2	>1 x 10E11
	He	1 x 10E6
出口法兰（前级泵口）		DN25NW
前级泵（推荐）		XDS10或RV12（或其它更小的，依应用而定）
放气口		1/8 inch BSP
吹扫净化口		1/8 inch BSP
zui高入口压力（空气） *
	水冷（水温15°C，大气温度40°C）	0.008mbar
	空冷（大气温度35°C）	0.012mbar
额定转速		60000 rpm
转速达到90%所需时间 **		285 s
冷却方式		空冷/水冷
大气温度（空冷）		5-35 °C
冷却水zui低流速（水温15 °C）		15 l/h
水温范围		10-20 °C
入口法兰zui高温度		100 °C
工作姿态		垂直
噪音（1m处）		<45 dB（A）
zui大磁场		5 mT
静止功耗		25～40 W

EXT406PX涡轮分子泵安装尺寸

A EXDC控制器

B 前级泵口

C 罗茨泵口

D 吹扫净化口

E 放气口

F 接地

EXT406PX涡轮分子泵特性曲线

订货信息

描述	货号
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100ISO入口法兰	B760-31-991
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100CF入口法兰	B760-32-991
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160ISO入口法兰	B760-41-991
EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160CF入口法兰	B760-42-991
EXDC160 24 V	D396-46-000

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