INFICON 电馈入件

真空连接

DN40 CF-F

DN 40 CF-F

DN40 CF-F

DN40 CF-F

DN 40 CF-F

馈入数量

1

1

2

4

9

电压/电极

仟伏

0.3

1

0.3

1

1

电流/电极

安

70

200/1000

70

8

8

馈入件

214-136

214-127

214-128

214-116

214-117

连接件：真空侧

214-195

214-196

214-195

214-192

214-198

连接件：大气侧

214-176

214-177

214-176

214-173

214-181

连接件：大气侧，水冷

214-178

烧烤温度

^oC

400

密闭度

毫巴.升/秒

5X10^-11

压强（）

1X10^-10毫巴。。。2巴

法兰

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

导体

OFC2.0040

OFC2.0040

OFC2.0040

304/1.4301

304/1.4301

绝缘件

AL₂O₃

AL₂O₃

AL₂O₃

AL₂O₃

AL₂O₃

重量

0.15

0.5

0.45

0.3

0.5

连接件：真空侧

2

1

2

5

10

电流

安

20

1000

100

12

12

烧烤温度

^oC

400

400

400

400

400

材料

304/1.4301

2.0061

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

连接件：大气侧

件数

2

1

2

5

10

电流 zui大

安

100

250

100

25

25

绝缘

伏交流/伏直流

未绝缘

30/60

30/60

30/60

30/60

烧烤温度

^oC

150

150

50

50

50

触点

镀银黄铜

镀银黄铜

镀银黄铜

镀金黄铜

镀金黄铜