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180A ALTAMKS数字型金属密封流量计

简要描述:180A ALTATM MKS数字型金属密封流量计

  • 产品型号:180A ALTATM
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-23
  • 访  问  量:1266
  • 产品资料:

详细介绍

品牌其他品牌产地进口
加工定制

180A ALTAMKS数字型金属密封流量计全数字MKS ALTA质量流量计在功能和性能上做了技术改进,帮助用户在半导体行业,真空镀膜行业增加产量,降低系统成本,更好的与腔体匹配。ALTA改进性能准确度到1%。减少MFMS库存数量,ALTA代表MKS持续致力于帮助客户提高生产效率,降低系统成本。

180A ALTAMKS数字型金属密封流量计选型

例如:180A00411CR36MXX选型

前缀

编码

180A Analog

180A

气体选择

Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, 02

015

流量选择(zui大30000 N2当量)

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

接口法兰选择(兼容)

Swagelok® 4 VCR® male

R

1/4" Swagelok(兼容) Compression

S

C密封

C

W密封

H

阀门选择

没有阀门

3

模拟接口

9针“D"类型

A

15针“D"类型(MKS)

B

15针“D"类型(交替)

E

Profibus

4

DeviceNet

6

密封选择

金属密封

M

版本-*总线适配器

除了客户,MKS公司将给当前的版本

XX

可选配件

ALTA数字软件用户界面工具包(单证)

模拟量IO版本,USB通信,USB端口键**

1037539-001

模拟量IO版本,USB通信,并行端口**

1037539-002

模拟量IO版本,RS-232通信,USB**

133730-G1

模拟量IO版本,RS-232通信,并行端口键**

133730-G2

USB端口的PC DeviceNet版本***

133900-G1

PC机并行端口的DeviceNet版本***

133900-G2

更换USB端口键

133897-G1

更换并行端口键

133897-G2

180A接线方式

使用USB电缆数字ALTA MFC转换器组件

模拟量I / O接口与PC机(包含在1037539套件内)

1037538-001

电缆使用MKS 246 / 247电子数字ALTA 15D

模拟量IO接口(XX表示所需长度,例如CB1480-1-10

CB1480-1-XX

RS-232电脑延伸电缆10英尺(包含在133730套件内)

095-103377

RS-232电缆用于ALTA MFC模拟数字转换器组件

模拟量I/O接口与PC机(包含在133730套件内)

134566-G1

*附加气码,接触应用工程。

*套件包括电脑转换器组件的电缆和一个RS-232USB延长线

***客户必须提供DeviceNet接口卡,硬件,和电缆


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0755-26028990
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