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1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计

简要描述:1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-22
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1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计的概述:

1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器,1179A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计的技术参数:

材质:316不锈钢
灵敏度:全量程的0.1%
连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
       数字:RS485或Device net或Profibus
质保期:有限保修自售出之日起12个月。
热机时间:小于2Min.MKS压力计
控制量程:2%to的全量程。
测量精度:全量程的1%
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4"等
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计的型号及采购序列:
例:型号1179A00411CR1A5VXX        采购序列号

校准气体(SEMI气体编号)*
Helium, He                        001
Argon, Ar                         004
Hydrogen, H2                      007
Nitrogen, N2                      013
Oxygen, O2                        015

1179A的具体型号说明:

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计




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