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高压强热电离皮拉尼真空计

简要描述:INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。

  • 产品型号:HPG400
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-22
  • 访  问  量:1942
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详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

HPG400 大气压到高真空真空计

HPG400高压强热电离皮拉尼真空计

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。


好处

  • HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性

  • 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制

  • 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动

  • 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁

  • 备有可选的图形显示器和现场总线接口

  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预

  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用

  • 工业镀膜

  • 低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制









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