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INFICON 干式氦质谱检漏仪

简要描述:i通过仪器的干式泵技术,可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了最佳的性价比。它提供 10-12 mbar·l/s 检测极限,具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性,方便进入空间有限的维修区域。可选的背景抑制(iZERO)功能能够在2秒内实现低于现有背景水平状态持续进行泄漏测试。

  • 产品型号:UL1000Fab
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-08-17
  • 访  问  量:4850
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详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

UL1000Fab干式氦质谱检漏仪  的详细介绍

INFICON UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的*真空结构,UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪提供的*的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 843,方法 1014)。

功能

  • 15 级的宽测量范围

  • 较短的抽气和响应时间

  • 移动式全金属外壳,增加了便利性,具有可操作性

  • I-CAL 确保了在所有测量范围中提供zui快的泄漏响应时间

  • 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果

  • 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气吸气能力和高压缩比

  • 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互

  • 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

  • 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试

  • 通过电子邮件进行软件更新

  • 含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本

  • 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

  • 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持

  • 需要较高吸气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用

  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏

  • 工艺气体系统的检查和安装

  • 内置软件菜单自动测漏"功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试


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