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过程测量、控制和数据记录的可持续解决方案TPG36x有 源真空计控制器与各种INFICON有源真空计兼容,能够监 测和记录整个压力范围(10-10至1500毫巴(10-10至1125托)和设定点状态。
INFICON倒置磁控管真空计MAG470的测量范围为5×10-11毫巴至1×10-2毫巴(3.8×10-11Torr至7.5×10-3Torr)。
NFICON PBR 260是一种组合式真空计,在一个紧凑 的单一位置上作为两个真空计运行。主要的测量原理是 根据Bayard-Alpert原理的热阴极真空计,该真空计将由一个铂热传导测量原理完成和支持。
TripleGauge®BCG552将3个真空传感元件组合在一个传感器中。这款新TrigonTM系列的旗舰产品提供了从UHV(5x10-10)到大气压(1500毫巴)的极宽测量范围。BCG552配备有额外ATM传感器预设计用于压差测量,并在多种应用 中 用 作 真 空 开 关 。
Bayard-Alpert热电离真空计TrigonTM BAG552对于需要独立热电离计技术的应用,TrigonTM系列包含单 一技术Bayard-Alpert热电离计BAG552。BAG552设计用 于压力范围为5×10-10 ... 2×10-2毫巴。支持的双灯丝提 供了zhuoyue的精度、可重复性和寿命。
新型INFICON皮拉尼压电组合真空计(PPG550)基于*的MEMS(微机电系统)传感器技术。在MEMS工 艺中小型化的皮拉尼/压电组合技术能够构建非常小且节省空间的传感器。皮拉尼基于MEMS技术,在低真空范 围内比经典皮拉尼测量得更深、更准确。