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INFICON英福康介绍
INFICON英福康介绍

INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放...

2023-03-29
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  • 真空阀体内残余气体传热实验分析

    液氧,液氢在经过真空管道及真空截止阀后,1-2小时对真空阀残余气体漏热与常温下夹层压强进行了测试,实验计算结果表明夹层低温压强对应的常温压强,与夹层中氢含量和吸附剂的吸附能力密切相关,如果吸附剂的装填量足够多,也即吸附剂在低温下能够吸附气体的量大于夹层中可能存在的不凝性气体的量,对液氢输送中,可允许稍低的真空度。常温夹层压强在40Pa以上残余气体漏热与压力成非线性关系,如图1所示。同时在夹层低压强的状态对残余气体的漏热进行了计算分析如图2和图3,实验结果表明低压状态下残余气体...

    20172-27
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  • 干式螺杆真空泵优点和缺点

    干式螺杆真空泵是主要是利用一对螺杆,其特点是两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,所以使得干式螺杆真空泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口,价格非常昂贵。干式螺杆真空泵,它利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足,我们都称之为油封式真空泵的升级版...

    20172-20
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  • 水环式真空泵管路安装指南

    1、选择合理的管路方案①真空系统出口与泵的入口之间距离越短越好;②管路拐弯越少越好;③进口管路应高于泵的入口中心线,出口管应避免有引起较大阻力的因素,如出口管上爬、直角拐弯等;④配接进出口管直径应与产品的进出口直径一致,如真空系统较小,进出口配接管直径可以小,但不得小于产品进出口直径的70%,且出口直径应大于或等于入口管直径;⑤管路的拐弯处应圆滑过渡;⑥水环式真空泵的进水管路要安装阀门,用来调节进水量的多少,进水量的多少对真空度有影响,调节进水量时通过观察真空表的指针来控制阀...

    20171-11
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  • 细长管道对石英真空计读数的影响

    依据风洞实验测压过程,对细长管路建立细长管路抽气模型如图4所示。细长管路对气体的流动具有一定的阻碍作用。反过来说它们对气体的流动都有一定的通导能力,这种能力称之为流导。流导的大小说明在管路元件两端的压强差一定的条件下流经管路元件的气流量的多少。气体在管道中的流动状态不同,管道的流导也不一样,也就是说,管道对气体的流导不仅取决于管道的几何形状和尺寸,还与管道中流动的气体种类和温度、管道中气体的平均压力有关系。所以在计算管道对气体的流导时,首先必须判明管道中的气流是哪一种流动状态...

    20171-3
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  • 2017年元旦放假通知

    2017年元旦放假通知根据国家相关部门关于2017年节假日安排的通知,结合我单位工作实际情况,现将2017年元旦节放假的有关事项安排如下:2017年1月1日(星期日)放假,1月2日(星期一)补休。请各部门根据放假时间,提前做好各项工作安排,妥善安排好值班和安全、保卫等工作,保持通信联络畅通,遇有重大突发事件发生,要按规定及时报告并妥善处置,确保度过一个平安愉快的假期。深圳市科锐诗汀科技有限公司2016年12月28日

    201612-28
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  • 英福康公司推出新的MAXTEK晶振片

    英福康公司推出新的MAXTEK晶振片晶振片的质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性,更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。INFICON石英晶体具有经过实践验证的品质和可靠性,其在各种材料、应用和行业中的无数次成功的过程运行充分证明了这一点。我们的6MHz晶体可与所有INFICON控制器和监控器结合使用。而5MHz晶体只能与5MHz仪器结合使用;所有晶片与非INFICON仪器兼容。6MHz和5MHz晶体具有金、银或合金三种电极并根据您的需要采用各种包装。如果选用zui...

    201612-26
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  • 旋片泵在制冷行业的应用

    旋片真空泵是用来抽取封闭系统内的气体来获得真空的设备。目前,制冷维修工作中普遍采用的是旋片式真空泵。它可以将制冷系统内的气体由105Pa抽至1Pa以下旋片式真空泵利用镶有两块滑动旋片的转子,偏心地装在定子腔内,转子外圆与泵腔内表面相切。泵转子旋转时,靠离心力和弹簧压力使旋片顶端与泵腔内壁保持接触。偏心转子在电动机的拖动下带动旋片在定子腔内旋转,使进气口方面的腔室逐渐扩大容积,气压下降,吸入气体;同时与排气口相通的腔室体积逐渐缩小,气压升高,达到一定压力后冲开排气阀,将气体排出...

    201612-7
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  • 真空检漏的实施步骤

    只要正确的做好检漏范围的预判和正确连接好检漏仪后就具备了检漏的前提,应当按照如下步骤进行查、检漏工作:①正常启动电弧炉真空系统,当炉室达到稳定的中真空度后,通常在10Pa以下,打开检漏仪开始进行工作;②按照先高后低、先近后远的顺序依次对炉室各个点进行喷氦,针对真空自耗电弧炉而言合理的检漏路线应当依次是电极杆动密封处———观察孔玻璃处———炉头法兰———坩埚法兰———真空检测排———真空管道———真空挡板阀———大、小罗茨。③外部无法喷氦检漏部位的检查。外部不易喷氦检查到的部位...

    201611-22
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  • 真空阀门的公制与英制换算表

    公制与英制换算表(适用于真空阀门)公称通径Size英寸In1/81/43/81/23/4111/411/2221/2331/2456810121416毫米DN4610152025324050658090100125150200250300350400英寸In18202426283032343642485460647280848896毫米DN4505006006507007508008509001050120013501500160018002000210022002400

    201611-18
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  • 阐述检漏仪在电弧炉真空系统中的连接

    检漏仪检漏口的位置通常可以连接在图1中虚线A或B的位置,因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000Pa的工作要求,对于粗检两个位置都能够达到要求,但对于系统的小漏,位置的选择则相当关键,对于核级锆铸锭的生产来说,当漏率介于0.65~1.5Pa/min时更要注意位置的选择。主要原因是由于:该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏,当检漏口14的压强100PaPa由于在正常工作时机械泵进气口A处的真空度受管道气密性及泵本身的抽空能力等因素的影响,通常真空度可能在20~200Pa的范...

    201611-11
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  • 真空检漏的2大分类

    真空检漏可以分为两大类。,充压检漏法;第二:真空检漏法。①充压检漏法:指在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出漏孔漏出的示漏物质的方法。主要有升压法、听音法、气泡法等。②真空检漏法:指将管道和检漏器的敏感元件处于真空状态,在管道的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元素空间,由敏感元件检测出示漏物质的方法。主要有真空计法、静态升压法、氦质谱检漏仪法。

    201610-25
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  • 真空检漏的工作条件

    真空自耗电弧炉是目前世界上熔炼钛、锆等稀有金属的主要设备,由于其在真空下能有效的降低金属及其合金中的气体含量,更准确的控制化学成分,改善铸锭的质量等优势,因而被广泛应用。①检漏仪要工作必须使检漏仪内部真空系统正常工作,因此检漏仪机械泵8、分子泵1和电磁阀V1串联工作,达到质谱室所需要的高真空,满足离子源可靠工作时即达到检漏仪工作条件,即我们所说的自检通过。②满足检漏口14达到1000Pa以下,由于真空自耗电弧炉容积约2~3m3,因此无法使用检漏仪自身的真空泵进行炉室抽空,必须...

    201610-18
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