真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。规管的分类1、热偶规目前国内的热偶规主要有51系列，53B/54D等。主要应用于低真空测量。2、皮拉尼系列（电阻规管）目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量。PG-500配合表头使用PG-600通讯型数字信号直接接入PC机PG-700开关型可以直接设定控制点，进行控...

影响PECVD工艺质量的因素主要有以下几个方面：3.2.1极板间距和反应室尺寸PECVD腔体极板间距的选择要考虑两个因素：（1）起辉电压：间距的选择应使起辉电压尽量低，以降低等离子电位，减少对衬底的损伤。（2）极板间距和腔体气压：极板间距较大时，对衬底的损伤较小，但间距不宜过大，否则会加重电场的边缘效应，影响淀积的均匀性。反应腔体的尺寸可以增加生产率，但是也会对厚度的均匀性产生影响。3.2.2射频电源的工作频率射频PECVD通常采用50kHz~13.56MHz频段射频电源，频...

渗透型表面处理涂料渗透型的表面处理涂料基本原理是采用渗透性强的树脂为基，配合极性溶剂、渗透剂使得涂料具备良好的性能，并增强涂层的附着力。稳定型表面处理涂料稳定型的表面处理涂料基本原理主要是靠涂料中活性原料与锈层中活泼的成分起反应，使用比较多的活性原料有氧化锌、磷酸锌、铬酸锌、铬酸钡、有机氮碱铬酸盐，铬酸钙、三聚磷酸铝、有的配方还添加亚硝酸钠，也有认为加入铬酸锶是必要的。转化型表面处理涂料转化型表面处理涂料也叫反应型带锈涂料，这类涂料不含成膜物质，也因为这样所以还需要另外加底漆...

压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。这是真空测量的特点，亦会造成某些问题。1、真空计(Vacuumgauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。2、真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。3、相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。任何具体物理现象与压力的关系，都是在某一压力范围内才较显著，超出这个范围，关系...

减顶真空机组的组成和各部分作用简介减顶压缩机组的工作液是水，抽吸介质为：空气、水汽、瓦斯气等。机组由液环真空泵、电机、换热器、气体过滤器、气液分离器、气体和液体管路、罗茨泵以及各类就地及远传仪表组成。1、磁翻板液位计：配套有防爆液位变送器，可现场观察气液分离器内的液位，液位变送器可根据气液分离器内液位高低对应4~20mA电流到DCS系统，实时监控气水分离器的液位。2、气液分离器：液环真空泵排出的气、液在此分离，气体从排气口排出，液体留在气液分离器内，通过泵供液管路继续循环使用...

氦质谱检漏小可检漏率达5×10-12Pa·m3/s，氦质谱检漏的使用，使板翅式换热器的检漏由定性考察变成了定量分析，对板翅式换热器的选用具有指导意义。氦质谱检漏常用的操作方法板式换热器的体积及换热面积较大，如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空，其不能满足检漏口真空度的要求，这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法，如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。1、喷吹法该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后...

1.1、立式真空泵滑阀泵的结构型式有立式和卧式二种。立式结构在新设计的泵中已鲜有使用，但它也有一定的自身特点：泵在运转中向前(后)的冲击力比较小，绝大部分冲击力在上、下的方向上，运转中泵产生的前、后晃动很小。利用这一特点，只要配置合适的减振器或减振垫，就可有效减振和隔振。我们曾对H-8A滑阀泵进行振动测试，振动测试的数据也充分说明了这一点。结合上述情况，设想将电机和油气分离器分别设置在泵的前、后侧，设计成背包式，降低泵的重心，并在泵的底脚加减振垫，也许可能成为立式滑阀泵今后的...

皮拉尼真空计的测量特点(1)测量压力范围宽，105～lO-14Pa。(2)大部分真空计是间接测量，只有压力为105～lOPa时，可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小，不能直接测量，应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。(3)多采用非电量电测技术。(4)大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分．否则会造成很大误差。(5)测量精度不高。选择真空计原则(1)在要求的压力区域内有要求的精度。...

1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换真空泵油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座...

1、双级式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体，使该容器获得一定真空的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，双级式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可以广泛用于冰箱、空调机、灯泡、日光灯、瓶胆生产和电子、冶金、医药、化工、滤油机、印刷机械、包装机等工业，可作为扩散泵、罗茨泵、分子泵等的前级泵，供电子仪器、医疗仪器等配套和实验研究应用。由于直联泵没有皮带摩擦的粉尘的污染，体积小、重量轻、材料节约、功能日趋完善，更被广泛推广应用。2、由于双级式真空泵是用黑色金属制造...

对于真空多层绝热阀，随着使用时间的延长，夹层内真空度会慢慢降低。夹层的气体并不是一类气体分子，而是多种气体的混合物，夹层气体的主要来源是内、外不锈钢管的放气，缠绕层、内外管支撑及其它固体杂质的放气。金属的放气是夹层气体的主要来源，金属放气主要成分是氢。实验对实际真空阀门残留气体取样分析，夹层中气体组成的含量依次为氢、氮、氧、氩、水蒸气、二氧化碳和氦气，其中，氢的含量高，可达到95%。在液氢温度下，除氢和极少量的氦外，氮、氧、氩、水蒸气、二氧化碳等其它所有气体均被冷凝成固体，同...

托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管就是初的真空计。根据测量的真空度范围和使用环境，现在常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。这几种真空计利用了不同的物理现象，其中电容式隔膜真空计利用的是力，热电偶真空计利用的是热传导，电离真空计利用的是真空放电。选用真空计时应该注意以下事项：1)在设备要求的压强范围内，真空计是否有足够的测量精度；2)被测气体是否会对真空计造成损伤；3)真空计是否会对被测真空环境造成影响；4)真空计所测压强...