真空系统常用名称(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处...

加热型薄膜规压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系,通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度1、零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）2、更高的精度3、环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响4、比工艺更快的预热启动时间’5、快速恢复时间大气压6、任意安装角度7、抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

电容薄膜规要求高的应用条件下，而快速的压强测量1、用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1...

INFICON皮拉尼真空计应用行业1.各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业2.各种中低真空测量，如照明，冶金3.真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG1004.PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR2165.PCG400PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产)与PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用6.PS...

皮拉尼真空计具体型号lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起2.两种原理的规管全过程都工作3.100mbar—1000mbar使用薄膜规信号4.1mbar–100mbar两规信号同时采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃

INFICON石英监控器晶体用于真空应用的石英监控器晶体石英晶体是QCM系统中的速率和厚度传感元件。这些晶体用于所有标准INFICON监控器或控制器以及INFICON（或其他制造商的）单、双或多晶体传感器的真空应用。INFICON推出各种晶体和包装，可随时为您提供所需的晶体。标准AT切割的1in.(25.4mm)直径晶体主要用于INFICONRQCM（石英晶体微天平研究系统）和PLO-10i系统的研究应用。这些研究晶体设计用在INFICON牢固且使用方便的晶体支架上，对沉积薄...

INFICON电容薄膜规CDG025D/045D/100D可以*替代美国MKS电容薄膜规622A/626A/627D/628D，例如：622A11TDE,626A11TDE,626B13TDE,626B01TDE,627D01TDC1B

美国MKS流量计INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，美*机仪器MKSInstruments产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。美国MKS产品包括：美国MKS流量计、MKS薄膜真空计、MKS流量控制阀。代表型号：AX7690,AX3060,AX7610,AX...

致光学镀膜公司的一封信由于近来社会经济情况不好，骚扰特别多，我们不想因为推广而打扰到您，所以在此介绍一下我公司业务，希望没有打扰到您且能给您带来方便！针对光学镀膜公司我们有以下业务：晶振片，我公司只销售原厂*INFICON产的两个品牌：INFICON晶振片（货号SPC-1157-G10，750-1022-G10等）和MAXTEK晶振片（货号103209,103702等）。膜料，有国产和进口的两种。进口品牌膜料有富士、MERCK、OPTRON；其中国产的膜料在谈好价格后可提供少...

INFICON真空开关专为准确可靠地进行压力检测而设计。这些坚固耐用的电子开关可用于各种真空应用，包括压力互锁。开关有两种型号：绝压开关（参考真空）和压差开关（参考环境）。益处全不锈钢防腐蚀设计设计稳健，符合洁净室标准出厂预设或现场可调设定点，易于安装功能IP44保护无源触点继电器输出高精度温度补偿传感器压力范围1×10-9毫巴…2巴典型应用适合各种真空应用的大气压检测压力互锁（电源、气源、泵、阀门、驱动装置等）真空至高真空

INFICONSKYCDG045D压力计是实现高总压测量与控制的理想之选。CDG045D真空计温度控制在45°C，具有的信号稳定性和可重复性。在50mTorr至1000Torr满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供0至10V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICONCDG压力传感器品质，成本效...

瑞士inficon电容式膜片真空计的优点与应用拥有成本更低，预热速度快50%，节能，低功耗易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移诊断端口用于快速维修和维护两年保修服务，加热概念和真空计保护延长了使用寿命的信号稳定性和可重复性，即使是zui苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS典型应用用于刻蚀、CVD、PVD和其他半导体制造过程化学和腐蚀性高温过程需要真空计保护的一般薄膜和...