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INFICON英福康介绍
INFICON英福康介绍

INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放...

2023-03-29
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  • 真空泵的正确使用与保养要点

    1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时,油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保真空泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换真空泵油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。4、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查橡胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座...

    20182-2
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  • 双级式真空泵3大用途

    1、双级式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空的基本设备,由于现代科学技术的高度发展,双级式真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位,可以广泛用于冰箱、空调机、灯泡、日光灯、瓶胆生产和电子、冶金、医药、化工、滤油机、印刷机械、包装机等工业,可作为扩散泵、罗茨泵、分子泵等的前级泵,供电子仪器、医疗仪器等配套和实验研究应用。由于直联泵没有皮带摩擦的粉尘的污染,体积小、重量轻、材料节约、功能日趋完善,更被广泛推广应用。2、由于双级式真空泵是用黑色金属制造...

    20181-29
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  • 低温下吸附剂对真空阀真空度的影响

    对于真空多层绝热阀,随着使用时间的延长,夹层内真空度会慢慢降低。夹层的气体并不是一类气体分子,而是多种气体的混合物,夹层气体的主要来源是内、外不锈钢管的放气,缠绕层、内外管支撑及其它固体杂质的放气。金属的放气是夹层气体的主要来源,金属放气主要成分是氢。实验对实际真空阀门残留气体取样分析,夹层中气体组成的含量依次为氢、氮、氧、氩、水蒸气、二氧化碳和氦气,其中,氢的含量高,可达到95%。在液氢温度下,除氢和极少量的氦外,氮、氧、氩、水蒸气、二氧化碳等其它所有气体均被冷凝成固体,同...

    20181-17
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  • 真空计选用时的注意事项

    托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管就是初的真空计。根据测量的真空度范围和使用环境,现在常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。这几种真空计利用了不同的物理现象,其中电容式隔膜真空计利用的是力,热电偶真空计利用的是热传导,电离真空计利用的是真空放电。选用真空计时应该注意以下事项:1)在设备要求的压强范围内,真空计是否有足够的测量精度;2)被测气体是否会对真空计造成损伤;3)真空计是否会对被测真空环境造成影响;4)真空计所测压强...

    20181-8
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  • 电阻真空计(皮拉尼真空计)的结构

    电阻真空计也称皮拉尼(Pirani)真空计,它是凭借热丝电阻的变化反映压力的。它主要由规管和测量线路两部分组成,其测量范围为104~10-1Pa。电阻式规管的结构如图4-3所示,在规管壳内封装一个用电阻温度系数高的电阻丝绕制的圆柱螺旋形热丝,热丝两端用引线引出规管,接测量线路。规管壳可用金属或玻璃制成,金属外壳具有耐用、拆卸热丝方便等优点,缺点是密封性能较差,价格高;玻璃外壳具有密封性能好、价格低等优点,缺点是易损坏。绕制热丝的一些电阻丝的电阻温度系数和电阻率,如表4-1所示...

    201712-26
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  • 真空泵的基础压力与极限压力

    极限压力的定义是:真空泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的低压力。这就是说,它是一个无限的渐近的值,就象数学中的无穷小一样,它是一个变量,在变化过程中它永远也达不到所谓的极限和低,是一个无法测量的值。也正如ISO21360-2007指出的,极限压力是测试罩内渐近的压力值,它是泵可获得的低压力,但没有一个实际的测量方法或规范。因此我们通常所测得的所谓极限压力,只不过是假定的、人为认定的极限压力值,因此它没有实际意义。ISO21360-200...

    201712-12
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  • 真空泵国产和进口的差别

    近有客户来咨询双级旋片真空泵,我介绍陕西艾克森的,我们的泵比对应的进口泵价格上少一半,但客户觉得贵了,一说国产的好象就应该是低价货,但又希望性能跟进口的相差无几,这种心态感觉还是很病态的。这些年我也比较过陕西艾克森的泵与爱德华的泵差距,爱德华的泵噪音小,外观精致;艾克森的泵噪音大一点,但可接受。外观涂层差一点,但也不是太容易划伤。极限真空跟爱德华的泵差不多。艾克森的泵配件便宜,维修简单,可自己在工厂里操作,且货期短。相信一分钱就一分货是真理。由于历史的原因,我们真空产业的起步...

    201712-1
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  • 热传导真空计的优缺点

    热传导真空计的优点1、热传导真空计反映的是全压力,即被测容器的真实压力。2、热传导真空计能连续测量,并能远距离读数。3、热传导真空计结构简单,容易制造。4、即使突然遇到大气,热传导真空计亦不烧毁。热传导真空计的缺点1、校准曲线因气体种类而异,故对空气的校准曲线不能直接用于其他气体。2、热传导真空计测量有热惯性,压力变化时热丝温度的改变常滞后,读数亦滞后一些时间。3、受外界温度的影响较大,故规管必须安装于不易受辐射或对流热的地方。4、老化现象较严重,必须定期校准。

    201711-28
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  • 氦质谱检漏在铝制板翅式换热器的方法

    氦质谱检漏在铝制板翅式换热器的方法板翅式换热器的泄漏主要有外漏和内漏两种。无论采用何种检漏方法,其目的都是为了解决内外漏问题。2.1、肥皂泡法在对板翅式换热器进行完强度试验前,一般对各介质通道充入压力值为0.1MPa-0.2Mpa的干燥、洁净、无油的气体,在换热器表面的焊缝处刷一定浓度的肥皂水,如果存在泄漏点,会连续形成肥皂泡或者肥皂泡被吹飞。找出外漏点,并对所有介质通道卸压后,进行补焊返修。2.2、气密性试验检漏法在对板翅式换热器进行完强度试验后,向所有介质通道充入干燥、洁...

    201711-22
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  • 关于检漏仪的检测方式以及漏率计算

    一、常用的泄漏检测方式:1.气泡检漏。小可检测泄漏为10-4atm-cc/sec。2.压力衰减。小可检测泄漏受控于时间,通常为0.01atm-cc/sec。3.超声波检漏。小可检测泄漏为0.01atm-cc/sec。4.氦气检漏。小可检测泄漏为10-11atm-cc/sec。二、漏率:是指在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。三:漏率单位的换算公式:Pa·m3/sTorr·L/smbar·L/satm·cc/sstd·cm3/s1Pa·m3...

    201711-8
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  • 真空泵抽气速度计算公式

    真空度相同的真空元件可共用一个气水分离器,在气水体积比很小的成形部前段,可将一个气水分离器用于更多的真空元件。而在气水体积比较大的成形部后段及压榨部,不可将一个气水分离器用于太多的真空元件。对位于成形区的开始段,真空度较低(5~15kPa)的真空元件,应选用离心风机或罗茨风机作为真空发生装置。对于其他真空元件,根据真空度要求选用罗茨真空泵或水环真空泵。罗茨真空泵机械排气且噪音大,因存在机械磨损而导致维修工作量大,但不需要工作液,系统简单。水环真空泵维修工作量小、电耗小于前者、...

    201710-24
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  • 质谱分析仪的发展及在打击假酒当中发挥的优势

    质谱随着科学技术的进步,20世纪80年代以来,有4种软电离技术产生,分别为等离子体解吸(PD-MS)、快原子轰击(FAB)、电喷雾(ESI)和基质辅助激光解吸/电离(MALDI)。随着质谱技术的发展,质谱技术的应用领域也越来越广。质谱分析具有灵敏度高,样品用量少,分析速度快,分离和鉴定同时进行等优点,因此,质谱技术广泛的应用于化学,化工,环境,能源,医药,运动医学,刑侦科学,生命科学,材料科学等各个领域。质谱分析仪是一种测量离子荷质比(电荷-质量比)的分析方法,其基本原理是使...

    20179-29
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