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INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放...
一、常用的泄漏检测方式:1.气泡检漏。小可检测泄漏为10-4atm-cc/sec。2.压力衰减。小可检测泄漏受控于时间,通常为0.01atm-cc/sec。3.超声波检漏。小可检测泄漏为0.01atm-cc/sec。4.氦气检漏。小可检测泄漏为10-11atm-cc/sec。二、漏率:是指在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。三:漏率单位的换算公式:Pa·m3/sTorr·L/smbar·L/sat...
真空度相同的真空元件可共用一个气水分离器,在气水体积比很小的成形部前段,可将一个气水分离器用于更多的真空元件。而在气水体积比较大的成形部后段及压榨部,不可将一个气水分离器用于太多的真空元件。对位于成形区的开始段,真空度较低(5~15kPa)的真空元件,应选用离心风机或罗茨风机作为真空发生装置。对于其他真空元件,根据真空度要求选用罗茨真空泵或水环真空泵。罗茨真空泵机械排气且噪音大,因存在机械磨损而导致维修工作量大,但不需要工作液,系统简单。水环真空泵维修工作量小、电耗小于前者、...
质谱随着科学技术的进步,20世纪80年代以来,有4种软电离技术产生,分别为等离子体解吸(PD-MS)、快原子轰击(FAB)、电喷雾(ESI)和基质辅助激光解吸/电离(MALDI)。随着质谱技术的发展,质谱技术的应用领域也越来越广。质谱分析具有灵敏度高,样品用量少,分析速度快,分离和鉴定同时进行等优点,因此,质谱技术广泛的应用于化学,化工,环境,能源,医药,运动医学,刑侦科学,生命科学,材料科学等各个领域。质谱分析仪是一种测量离子荷质比(电荷-质量比)的分析方法,其基本原理是使...
2017年深圳市科锐诗汀科技有限公司国庆节放假通知各位同事:2017年国庆及中秋节将至,根据国务院办公厅相关通知精神,并结合深圳市科锐诗汀科技有限公司实际情况,经研究决定,现将有关事宜通知如下:一、放假时间:10月1日至8日放假调休,共8天。10月9日起正常上班上班。二、放假前请妥善安排好相应工作,离开前请整理好自己的办公区,关好门、窗及公司办公设备;三、请大家在放假期间注意出行安全,假期结束之后请大家按时返回公司上班。祝全体同仁国庆及中秋节快乐!深圳市科锐诗汀科技有限公司行...
下列真空计可选择INFICON的真空计替代您的需求,INFICON是此类真空计的原产地,能的替代。真空计名称INFICON型号=OerlikonLeybold型号皮拉尼标准真空计PSG500,PSG502=TTR91/TTR96皮拉尼电容膜片真空计PSG550/PSG552/PSG554=TTR911/TTR916皮拉尼电容膜片真空计PCG550/PCG552/PCG554=TTR101B-A型皮拉尼真空计BPG400/BPG402=ITR90/ITR200潘宁真空计PEG1...
双级式真空泵哪里好?针对国内百花齐放的双级式真空泵市场,让内行都眼花缭乱,更别说不懂行的外行了。那么国内双级式真空泵哪里好呢?相信这个问题才是许许多多对双级式真空泵有需求的中小型企业关心的。一直以来,许多人对国内厂商的产品都很没有信心,其实这也不能怪他们,正是由于之前国内厂商的不良竞争,导致出现了一些有问题的品牌,从而另人对国产的双级式真空泵产生了怀疑.作为有着10年制造研发经验,致力于打造行业的陕西艾克森真空科技有限公司,在制造双级式真空泵方面可谓是国内厂商的。公司位于陕西...
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。一般来说,罗茨泵具有以下特点:在较宽的压强范围内有较大的抽速;起动快,能立即工作;对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感;转子不必润滑,泵腔内无油;振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀;驱动功率小,机械摩擦损失小;结构紧凑,占地面积小;运转维护费用低。因此,罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、...
对于燃气流量计,在生产过程中,实际气体标定通常难以实现,因此空气校准是必然的选择。空气校准的流量计,必须能够容易地应用到实际的城市燃气计量中。理论上,由于传感器封装在流场中形成边界层层流状态及相对稳定的流场,气体修正因子可用于不同测量气体的检测。为了证明这一理论推测,在空气中标定2台MEMS质量流量计,其中1台管径为50mm,测量范围为0~400m3/h;另1台管径为80mm,测量范围为0~1500m3/h。在进行天然气实流检测前,通过软件设定单一线性气体修正因子为0.784...
对于Fe、Co、Ni、Fe2O3、坡莫合金等铁磁性材料,要实现低温、高速溅射沉积,采用普通的磁控溅射方式会受到很大的限制。这是由于采用上述几种材料制成的靶磁阻很低,大部分磁场如图1所示的那样几乎*从铁磁性靶材内部通过,使靶材表面上部的剩余磁场过小,无法形成有效地电子束缚区域,不可能形成平行于靶表面的使二次电子作圆摆线运动的强磁场,使得磁控溅射不能进行。此时,磁控溅射就成为效率很低的二极溅射,使薄膜的沉积速度大大下降,基片急剧升温。相比普通靶材,除了磁屏蔽效应外,在溅射铁磁性材...
采用对靶磁控溅射系统,可以获得高沉积速率的磁性膜,且不必大幅度升高基片温度。对靶磁控溅射系统可以用来制备磁性Fe、Ni及其磁性合金膜。对靶磁控溅射系统其原理如图3所示。两只靶相对安置,所加磁场和靶表面垂直,且磁场和电场平行。阳极放置在与靶面垂直部位,和磁场一起,起到约束等离子体的作用。二次电子飞出靶面后,被垂直靶的阴极位降区的电场加速。电子在向阳极运动过程中受磁场作用,作洛仑兹运动。但是由于两靶上加有较高的负偏压,部分电子几乎沿直线运动,到对面靶的阴极位降区被减速,然后又被向...
增强溅射阴极磁场的另一种方法是采用高强磁体,通过强磁场饱和更厚的铁磁性靶材得到靶材表面需要的溅射磁场强度。但是高强磁铁的价格昂贵,同时采用这种方法增加靶材厚度的效果有限,而且由于强永磁体大小不能改变,这种方法会引起严重的等离子体磁聚现象。等离子体磁聚现象的产生使溅射区靶材很快消耗完而不能继续溅射,从而造成靶材利用率很低。采用电磁线圈来产生高强磁场,通过调节电磁线圈的电流控制磁场大小来抑制等离子体磁聚。但这种方法的磁场装置复杂而且成本高,同时电磁线圈还受到溅射阴极尺寸的限制,从...
在真空系统中,高真空插板阀用来切断或接通管路气流,按其结构原理可分为滚珠胀紧型与平行四边形运动机构撑开型。本文的研究对象ZBS-800高真空插板阀为滚珠胀紧型,滚珠胀紧方式的高真空插板阀主要由阀体(阀壳、阀盖、密封圈)、阀板组件(胀紧滚珠、密封阀板、承压阀板、板簧、保持架、导向轮)、驱动部分(曲柄连杆机构、气缸、机械到位开关)等部件组成,具体结构原理图如图1所示。真空插板阀是一种双向密封阀,在正向或反向抽真空时,密封阀板两面形成0至1大气压压差,均能达到真空密封,压差作用在密...