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INFICON英福康介绍
INFICON英福康介绍

INFICON半导体传感器采用了一系列过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,弄清楚气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更加重要。无论是在加工过程中进行测量以确保产品安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,或者监测减排系统以减少温室气体的排放...

2023-03-29
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  • 真空镀膜机的应用及注意事项

    真空镀膜机的应用1、食品工业的软包装:饼干及烘焙类产品,糖果,咖啡,茶叶,巧克力块,汤料,高阻隔膜;2、装饰:礼品包装,商标,热烫印箔,全息等;3、多种技术和日用品:纺织工业的镀铝丝线,建筑和汽车业的防晒膜,安全及防伪(全息),电容膜,静电屏蔽(电缆及电子);真空镀膜机注意事项1、设备接地必须可靠,并经常检查接地装置导电作用。2、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水,泵停止工作,但泵内示冷却至80摄氏度以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。3、扩散泵和油增压泵在加热情况下,...

    20187-30
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  • 氦质谱检漏的成本控制

    氦质谱检漏相对于其他的检漏方法,因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法,使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。1、检漏口真空度的控制根据NB/T47006铝制板翅式热交换器中A.5氦质谱检漏和JB/T7261铝制板翅式热换器中漏率要求,检漏口真空度一般要求为:1.33Pa。在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的,按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求,根据大量的检测经验,将检漏口真空...

    20187-27
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  • 对真空泵电机温度高的原因分析

    1原因分析(1)电机功率大,工作电流大,发热量大。(2)风扇转速低,风压,风量小。(3)风扇叶片数较少,产生的风量小。(4)电动机附有灰尘、油污,降低了散热能力。(5)真空泵电机所在母线电压为380V,由于电缆压降及负荷分配不均,电机实际所加电压只有365V,电压偏低造成运行电流大。2对策电机功率、转速是和真空泵相匹配的,不能更改。风扇安装于电机主轴上,电机转速决定了风扇转速,也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正不好,会引起电...

    20187-11
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  • 真空镀膜机UV镀膜生产工艺流程

    蒸发镀膜设备在塑料表面通过PVD技术镀铝,可以使塑料表面金属化,然后喷上各种颜色,前后需要进行UV的处理,以下是UV镀膜生产工艺的流程及参数:步:检查线体,确认各系统(除尘、喷枪、压缩空气、红外加热和UV固化)运转正常;第二步:清洗基材表面,去除油污(用干净无尘布蘸白电油或异丙醇擦拭表面,并立即干燥);第三步:基材静电除尘;第四步:喷涂底漆,膜厚:10~30微米,可根据具体基材和要求调整;第五步:在30℃~70℃的红外环境下流平5~15分钟;第六步:UV固化,曝光能量:600...

    20186-26
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  • 阐述真空泵标准

    标准编号标准中文名称标准英文名称GB/T13930-1992水环真空泵和水环压缩机气量测定方法Methodsforthemeasurementofvolumeflowofgasofwater-ringvacuumpumpandcompressorGB/T13929-1992水环真空泵和水环压缩机试验方法Methodsoftestingforwater-ringvacuumpumpsandcompressorsJB/T5971-1992(2005复审)单级多旋片式真空泵JB/T...

    20186-19
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  • 皮拉尼型真空计的原理

    皮拉尼真空计,又有翻译派蓝尼真空计。此种真空计属于热传导式真空计的一种。基本原理:利用惠斯通电桥Wheatstonebridge的补偿原理,其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时,其热导率会有所不同,因此灯丝所表现的温度也会不同,间接影响电阻值的大小。固定电压,固定电流以及固定温度中以后一种方法做敏感。值得注意的是,不同气体的热导率不同,因此在测量的时候要刻度上需要校对。[1-2]此行真空计通过测量一发热体与一接收发热体之间的热传导程度来判断气体...

    20186-4
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  • 真空规管的3种分类及说明

    真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。规管的分类1、热偶规目前国内的热偶规主要有51系列,53B/54D等。主要应用于低真空测量。2、皮拉尼系列(电阻规管)目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量。PG-500配合表头使用PG-600通讯型数字信号直接接入PC机PG-700开关型可以直接设定控制点,进行控...

    20185-25
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  • 影响PECVD工艺质量的因素的个原因

    影响PECVD工艺质量的因素主要有以下几个方面:3.2.1极板间距和反应室尺寸PECVD腔体极板间距的选择要考虑两个因素:(1)起辉电压:间距的选择应使起辉电压尽量低,以降低等离子电位,减少对衬底的损伤。(2)极板间距和腔体气压:极板间距较大时,对衬底的损伤较小,但间距不宜过大,否则会加重电场的边缘效应,影响淀积的均匀性。反应腔体的尺寸可以增加生产率,但是也会对厚度的均匀性产生影响。3.2.2射频电源的工作频率射频PECVD通常采用50kHz~13.56MHz频段射频电源,频...

    20185-16
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  • 真空镀膜机设备表面处理涂料

    渗透型表面处理涂料渗透型的表面处理涂料基本原理是采用渗透性强的树脂为基,配合极性溶剂、渗透剂使得涂料具备良好的性能,并增强涂层的附着力。稳定型表面处理涂料稳定型的表面处理涂料基本原理主要是靠涂料中活性原料与锈层中活泼的成分起反应,使用比较多的活性原料有氧化锌、磷酸锌、铬酸锌、铬酸钡、有机氮碱铬酸盐,铬酸钙、三聚磷酸铝、有的配方还添加亚硝酸钠,也有认为加入铬酸锶是必要的。转化型表面处理涂料转化型表面处理涂料也叫反应型带锈涂料,这类涂料不含成膜物质,也因为这样所以还需要另外加底漆...

    20185-9
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  • 皮拉尼真空计的适用量程范围

    压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。1、真空计(Vacuumgauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。2、真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。3、相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才较显著,超出这个范围,关系...

    20184-24
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  • 减顶真空机组的组成和各部分作用

    减顶真空机组的组成和各部分作用简介减顶压缩机组的工作液是水,抽吸介质为:空气、水汽、瓦斯气等。机组由液环真空泵、电机、换热器、气体过滤器、气液分离器、气体和液体管路、罗茨泵以及各类就地及远传仪表组成。1、磁翻板液位计:配套有防爆液位变送器,可现场观察气液分离器内的液位,液位变送器可根据气液分离器内液位高低对应4~20mA电流到DCS系统,实时监控气水分离器的液位。2、气液分离器:液环真空泵排出的气、液在此分离,气体从排气口排出,液体留在气液分离器内,通过泵供液管路继续循环使用...

    20184-10
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  • 氦质谱检漏的应用

    氦质谱检漏小可检漏率达5×10-12Pa·m3/s,氦质谱检漏的使用,使板翅式换热器的检漏由定性考察变成了定量分析,对板翅式换热器的选用具有指导意义。氦质谱检漏常用的操作方法板式换热器的体积及换热面积较大,如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空,其不能满足检漏口真空度的要求,这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法,如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。1、喷吹法该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口,用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通,然后...

    20183-30
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