罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说，罗茨泵具有以下特点：在较宽的压强范围内有较大的抽速；起动快，能立即工作；对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；转子不必润滑，泵腔内无油；振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；驱动功率小，机械摩擦损失小；结构紧凑，占地面积小；运转维护费用低。因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、...

对于燃气流量计，在生产过程中，实际气体标定通常难以实现，因此空气校准是必然的选择。空气校准的流量计，必须能够容易地应用到实际的城市燃气计量中。理论上，由于传感器封装在流场中形成边界层层流状态及相对稳定的流场，气体修正因子可用于不同测量气体的检测。为了证明这一理论推测，在空气中标定2台MEMS质量流量计，其中1台管径为50mm，测量范围为0～400m3/h；另1台管径为80mm，测量范围为0～1500m3/h。在进行天然气实流检测前，通过软件设定单一线性气体修正因子为0.784...

对于Fe、Co、Ni、Fe2O3、坡莫合金等铁磁性材料，要实现低温、高速溅射沉积，采用普通的磁控溅射方式会受到很大的限制。这是由于采用上述几种材料制成的靶磁阻很低，大部分磁场如图1所示的那样几乎*从铁磁性靶材内部通过，使靶材表面上部的剩余磁场过小，无法形成有效地电子束缚区域，不可能形成平行于靶表面的使二次电子作圆摆线运动的强磁场，使得磁控溅射不能进行。此时，磁控溅射就成为效率很低的二极溅射，使薄膜的沉积速度大大下降，基片急剧升温。相比普通靶材，除了磁屏蔽效应外，在溅射铁磁性材...

采用对靶磁控溅射系统，可以获得高沉积速率的磁性膜，且不必大幅度升高基片温度。对靶磁控溅射系统可以用来制备磁性Fe、Ni及其磁性合金膜。对靶磁控溅射系统其原理如图3所示。两只靶相对安置，所加磁场和靶表面垂直，且磁场和电场平行。阳极放置在与靶面垂直部位，和磁场一起，起到约束等离子体的作用。二次电子飞出靶面后，被垂直靶的阴极位降区的电场加速。电子在向阳极运动过程中受磁场作用，作洛仑兹运动。但是由于两靶上加有较高的负偏压，部分电子几乎沿直线运动，到对面靶的阴极位降区被减速，然后又被向...

增强溅射阴极磁场的另一种方法是采用高强磁体，通过强磁场饱和更厚的铁磁性靶材得到靶材表面需要的溅射磁场强度。但是高强磁铁的价格昂贵，同时采用这种方法增加靶材厚度的效果有限，而且由于强永磁体大小不能改变，这种方法会引起严重的等离子体磁聚现象。等离子体磁聚现象的产生使溅射区靶材很快消耗完而不能继续溅射，从而造成靶材利用率很低。采用电磁线圈来产生高强磁场，通过调节电磁线圈的电流控制磁场大小来抑制等离子体磁聚。但这种方法的磁场装置复杂而且成本高，同时电磁线圈还受到溅射阴极尺寸的限制，从...

在真空系统中，高真空插板阀用来切断或接通管路气流，按其结构原理可分为滚珠胀紧型与平行四边形运动机构撑开型。本文的研究对象ZBS-800高真空插板阀为滚珠胀紧型，滚珠胀紧方式的高真空插板阀主要由阀体(阀壳、阀盖、密封圈)、阀板组件(胀紧滚珠、密封阀板、承压阀板、板簧、保持架、导向轮)、驱动部分(曲柄连杆机构、气缸、机械到位开关)等部件组成，具体结构原理图如图1所示。真空插板阀是一种双向密封阀，在正向或反向抽真空时，密封阀板两面形成0至1大气压压差，均能达到真空密封，压差作用在密...

根据ZBS-800型插板阀的组成以及结构特点，可以采用检测真空阀门阀板位移、阀门开启以及关闭过程的声音、阀门开启以及关闭所需时间相互结合的方法对阀门的工作状态进行预测。2.1、阀门密封阀板的位移激光位移传感器是可以进行非接触位置、位移测量的精密传感器，在科学研究、工业生产、空间技术、国防等领域得到了广泛应用，我们选用激光三角测量法传感器对阀门密封阀板的位移进行测量，激光三角测量法原理如图2所示，激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，...

将铁磁性靶材的厚度减薄是解决磁控溅射铁磁材料靶材的常见方法。如果铁磁性靶材足够薄，则其不能*屏蔽磁场，一部分磁通将靶材饱和，其余的磁通将从靶材表面通过，达到磁控溅射的要求。这种方法的大缺点是靶材的使用寿命过短，同时靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一个缺点是溅射工作时，靶材的热变形严重，往往造成溅射很不均匀。一种对铁磁性靶材进行的改进设计是在靶材表面刻槽，槽的位置在溅射环两侧。这种设计的靶材适用于具有一般导磁率的铁磁性靶材，例如镍。但对具有高导磁率的靶材料效果较差。虽然靶材的...

真空截止阀的真空部分主要由内阀体和外阀体的中间夹层组成，夹层中气体越多，对流传热就越剧烈，为减少对流换热的影响，要对夹层进行抽真空处理，残余气体的传热属于气体的能量迁移，对于真空夹层的气体导热随着夹层压强的不同，气体的导热机理不相同。真空夹层的残余气体的传热分三种情况，分别是：低真空、中真空和高真空，就高真空而言，气体分子的平均自由程大于容器尺寸，分子间相互碰撞的几率很低，分子与界面的碰撞比分子间的相互碰撞频繁得多，气体中各处温度相等，气体分子可以由一个壁面飞向另一个壁面，每...

质量流量计它可以测量流体介质的质量，也可以测量流体介质的密度。仪表的量程比会影响它自身测量精度，但是会引起压降的讲法还没听过。质量流量计根据哥里奥利效应而制成的质量检测仪表，因此质量流量计的检测不受温度、压力、流速、密度、粘度等影响。质量流量计的特点质量流量计它的检测精度高、量程范围宽、可靠性高，而且后期维护量小。在测量流体介质质量流量时也可以测量流体介质的密度。它的输出信号为4-20maDC模拟量信号，同时又能输出频率信号，能更好的与计算机相兼容，因此能构成完善的本质安全系...

真空规管一般是装在真空镀膜室的位置，是指电离规管，玻璃管端部用老虎钳夹破一点，插进真空室密封好，必须大气状态完成。（还有电阻规它是测粗真空的，这种没有规管，就一个传感器）用来监测真空度的，，电离规开启一般是有要求的，当压强到3PA以下才开真空，可设置压强参数，到了会自动开，过早开会氧化电离规，导致烧坏真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作...

充气密封圈是实现检漏收集室密封的关键，研究其密封性的设计具有重要的工程意义。旧检漏收集室采用的无棱充气密封圈的密封效果不佳，且密封可靠性也较差，因此，针对某收集室的新建要求，有必要对充气密封圈进行重新的设计，以提高检漏收集室的密封性及可靠性。本文首先根据充气密封圈的密封机理，设计出一种新型截面型式的充气密封圈;其次，通过有限元仿真的对比分析，得到了新旧两种不同截面型式充气密封圈密封面上的应力分布规律，并以此为基础，确定了新型截面型式充气密封圈的优越性；后，通过对新建收集室的密...