涡轮分子的使用和维护一、总体安装注意：1.安装前应检查分子泵运输中是否损坏。2.打开泵高真空端法兰盖板，波动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。3、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。4、确认防护网已安装，特殊情况下做特殊防护网。5、确认已装入润滑油。6、安装方向：油绳润滑：竖直、水平;油润滑：竖直方向+/-5;润脂油：任意角度二、油池安装1、拆下注油2、油量控制3、油池卫生、防颗粒。4、对好、对称上紧螺钉。5、防止有漏，减少“油黑”三、进出口法兰、冷却水安装1、泵入口：对正...

在电工电子工业中应用的氦质谱检漏仪及其辅助设备：电工电子产品由于密封不良，将会造成产品的漏气漏液，从而降低电性能，有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象，甚至使产品破坏丧失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同，应对产品提出不同的密封要求，据此国家标准局于1982年批准了GB2423，2382关于“电工电子产品基本环境试验规程试验Q：密封”做为*标准，这个标准*等效于IEC65-2-17试验Q密封的正文部分。而试验导则则*等效于IEC-68-2-17试验密封...

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度zui高，用得zui普遍的检漏仪器。压力容器是指盛装气体或者液体，承载一定压力的密闭设备。贮运容器、反应容器、换热容器和分离容器均属压力容器。常见的有反应器、杜瓦瓶、热交换器、冷凝器等。压力容器在生产制造过程中需要进行焊接工序，完成后必须进行密封性泄露测试保证产品的密封性。若发生微小泄露，容器中储存气体会逐渐流失，直接对企业造成经济损失；若储存的是有毒有害气体，还会造成周...

“真空度”顾名思义就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型气泵、微型抽气泵、微型抽气打气泵等抽真空设备的一个主要参数。处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表示。若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即：真空度=（大气压强—压强）外层空间的能量传输与超高真空中的能量传输相似，故超高真空可用作空间模拟。在超高真空条件下，单分子层形成的时间长（以小时计），这就可以在一个表面尚...

质谱分析仪用于监测复杂过程的四极气体分析系统。允许7天24小时连续监测,达到zui大的产额和产量,从而将成本降至zui低。足够的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内。HexBlock取样系统的*性能。内置CDG,用于过程压强监测和真空联锁。备有可选的校准参考源,用于调谐和气体参。封闭的长寿命离子源可在阻挡大多数腐蚀性和反应性气体的同时,检测亚ppm量级的污染物。重量轻,易搬运。质谱分析仪以离子源、质量分析器和离子检测器为核心。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。电...

什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即MassFlowMeter（缩写为MFM）,是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器,即MassFlowController（缩写为MFC）,不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设...

真空测量仪是新一代智能复合真空测量仪。采用单片微机进行数据处理，真空度读数数字显示，测量结果直观、明确、读数方便。真空测量仪：电离规管的除气可以自动或手动进行。采用数据记忆电路，热偶部分可在校准时直接将与热偶电势相对应的真空度数值，通过面板上的按钮置人仪器内部记忆单元。仪器可按有限个校准点构成的校准曲线进行真空度测量。电离部分则可以将电离规管的校准系数置入仪器内部记忆单元。测量时可以对读数进行修正，测量精度高。采用带有反馈环节的D/A电路控制热偶加热电流的大小，热偶加热电流可...

真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。真空规管一般是装在真空镀膜室的位置，是指电离规管，玻璃管端部用老虎钳夹破一点，插进真空室密封好，必须大气状态完成。（还有电阻规它是测粗真空的，这种没有规管，就一个传感器）用来监测真空度的，，电离规开启一般是有要求的，当压强到3PA以下才开真空，可设置压强参数，到了会自动开，过早开会氧化电...

工业部门应用实例备注电子工业半导体材料、电介质材料、导电材料、超导材料、太阳能电池、集成线路及电路元件等低基片温度机械工业耐蚀、耐热、耐摩擦性能保护性材料等厚膜光学工业反射膜、选择性透光膜、光集积回路、反射镜保护膜低基片温度装饰塑料涂层、陶瓷涂层、彩虹包装等厚膜航天及交通导电玻璃挡风玻璃电子工业：半导体材料、电介质材料、导电材料、超导材料、太阳能电池、集成线路及电路元件等。低基片温度机械工业：耐蚀、耐热、耐摩擦性能保护性材料等。厚膜光学工业：反射膜、选择性透光膜、光集积回路、...

膜厚可控性和重复性好控制靶电流可以控制膜厚通过溅射时间控制膜厚薄膜与基片的附着力强高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象，形成一层伪扩散层基片在成膜过程中始终在等离子区中被清洗和激活，清除了附着力不强的溅射原子，净化且激活基片表面。可以制备特殊材料的薄膜可溅射几乎所有的固体（包括粒状、粉状的物质），不受熔点的限制。使用不同材料同时溅射制备混合膜、化合膜。可制备氧化物绝缘膜和组分均匀的合金膜。可通入反应气体，采用反应溅射方法制备与靶材*不同的新的物质膜。如用硅靶制作二氧化硅绝缘...

现在市面上有多种晶振片，有进口的有国产的，有镀金的、镀银的、还有银铝合金的，如果选择确实是我们广大用户想知道的，以下就是我们选择的一个参考。晶体的质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性，更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。INFICON石英晶体具有经过实践验证的品质和可靠性，其在各种材料、应用和行业中的无数次成功的过程运行充分证明了这一点。我们的6MHz晶体可与所有INFICON控制器和监控器结合使用。而5MHz晶体只能与5MHz仪器结合使用；与有些INFICON仪...

石英晶体膜厚控制仪的特点：1、标准RS-232和USB（有以太网选件）。2、贮存容量高至100个工艺过程，1，000个膜层，50个膜系。3、用单传感器或多传感器监测源材料，提供的源分布监测。4、高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。5、易设置和操作，有“快速设置”菜单，6个上下文-敏感的按钮，和方便的参数设定旋钮。6、Window程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至您的PC上，用于过程分析与质量控制。7、的过程控制，尤其用于低淀积率，在1...