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Brooks 系列超紧凑型质量流量控制器

简要描述:新一代超紧凑型质量流量控制器,专为精密气体系统设计,具备低泄漏率、宽调节比、先进诊断功能及智能预测性维护,可最大限度地提高设备运行时和工艺可靠性。

  • 产品型号:GC
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-08-18
  • 访  问  量:9
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Brooks GC 系列超紧凑型质量流量控制器


GC 系列是Brooks Instrument基于 MEMS 热式传感技术的弹性密封超紧凑型气体质量流量控制器,主打小体积 OEM、台式实验室设备,分为 GC50、GC51 两个型号。

核心特点

  1. jizhi紧凑体积:20 × 40 × 60 mm,大幅节省气路面板空间,适合设备内部高密度集成Brooks Ins...。

  2. MEMS 热式传感,量程比100:1,单台覆盖宽流量区间,减少器件数量Cross Comp...。

  3. 极低阀门泄漏率,多数工况无需额外切断阀;弹性密封(橡胶密封圈),不适用半导体高纯 / 腐蚀特气,面向通用实验室、生物设备。

  4. 通讯接口:模拟量(0‑5V /0‑10V /4‑20mA) + Modbus‑RTU RS‑485,数字 + 模拟双兼容Brooks Ins...。

  5. 现场在机校准:配套 BCAT 软件,设备不用拆下来,可做校验、调参、标定、故障诊断,降低停机维护时间Brooks Ins...。

主要技术规格Cross Comp...

表格

项目GC50GC51
满量程(空气当量)210‑1500 sccm210‑5000 sccm
精度1.5% 设定值 ±0.5% 满量程同 GC50
重复性±0.25% 设定值±0.25% 设定值
量程比(Turndown)100:1100:1
工作压力上限150 psi(约 10.3 bar)150 psi
工作温度0‑50 ℃0‑50 ℃
接触介质密封弹性体密封(Viton)弹性体密封
气路接头1/4 卡套、1/4‑VCR、6mm 卡套可选1/4 卡套、1/4‑VCR、6mm 卡套可选
供电DC 24VDC 24V

兼容气体

空气、N₂、O₂、Ar、CO₂、N₂O、CO、CH₄、C₃H₈等非腐蚀性气体。

典型应用场景

  • 台式生物反应器、实验室发酵系统

  • 各类分析仪器、医疗气体分析设备

  • 空间受限 OEM 整机设备、桌面实验平台

  • 注意:该系列为弹性密封,非金属密封,不用于半导体高洁净、腐蚀性特种气体工艺

Brooks 系列超紧凑型质量流量控制器

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