Brooks 系列复合真空计

Brooks VersaTorr 系列复合真空计

ersaTorr 是 Brooks Instrument三合一复合宽量程真空变送器，集成 MEMS 皮拉尼、压电、电容隔膜（CDG）三种传感，单支实现粗真空‑中真空9 个数量级测量，替代多支单原理真空规，广泛用于半导体 Load‑Lock、镀膜、分析仪器、热处理炉Brooks Ins...。

型号家族

• BVT100 / BVT125：MEMS 皮拉尼 + 压电，经济型复合规，BVT125 内置大气压开关

• BVT200 / BVT225 / BVT275：Tri‑Sensor 三传感器（皮拉尼 MEMS + 压电 + 电容隔膜 CDG）；气体无关测量，CDG 自动调零，半导体工艺主力型号Brooks Ins...

核心技术特点

1. 超宽量程：\(7.5\times10^\ \mathrm\sim1000\ \mathrm\)（\(1\times10^\ \mathrm\sim1333\ \mathrm\)），一支覆盖粗抽、过渡、中真空区间

2. BVT200 系列Tri‑Sensor 三传感架构

• 高真空段：MEMS 皮拉尼热传导

• 中真空：电容隔膜 CDG（气体成分无关，不受气体种类影响）

• 近大气压段：压电传感器

• CDG 支持自动零点校准，无需人工现场调零，减少维护Brooks Ins...

3. 响应速度：＜20 ms，适合快速抽气 / 复压 Load‑Lock 腔体联锁控制

4. 最多 3 路可编程固态继电器设定点，直接用于设备联锁、泵阀控制

5. 通讯：模拟 0‑10V；数字 RS‑232 / RS‑485 Modbus；支持 USB 通信器现场配置、读取诊断数据、参数修改

6. 模拟输出可自定义缩放，可兼容替代市面上多数老款复合真空规，硬件无需改板直接替换升级

关键规格对比

表格

BVT125：内置大气压检测开关；BVT225 带大气压开关；BVT275 针对严苛工艺、抗颗粒污染，Inconel 隔离膜片版本。

典型应用

• 半导体设备：Load‑Lock 腔、预抽腔、前级管路

• PVD/CVD 薄膜镀膜设备

• 扫描电镜、质谱分析仪器

• 真空热处理炉、钎焊炉

• 科研 / OEM 真空系统集成

选型注意

1. BVT100：经济型，皮拉尼在低压区气体相关；BVT200：带 CDG，工艺气体变化工况优先选。

2. BVT 系列仅覆盖到中真空，不能测高真空 / 超高真空（\(<10^\ \mathrm\)），需要电离规扩展。

3. 法兰标准主流为 DN16‑KF；订货时指定法兰、是否需要大气压开关、继电器路数。

4. 配套工具：Brooks Vacuum Sensor Communicator（USB），用于配置、诊断、读取校准信息。