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关于四极质谱(RGA)的问题

更新时间:2019-11-07      点击次数:3836

关于四极质谱(RGA)的Q&A

一、真空腔体里还有残留气体,也就是说想分析一下这些气体的成分或者比例,怎么办?

    选用四极质谱仪(RGA)。

二、什么是四极质谱、它有什么功能及应用?

     科锐诗汀代理的四极质谱(RGA)是一种用于确定系统中存在的残余气体及数量的仪器。用于检漏、工艺标定和诊断。应用于真空镀膜、热处理、半导体、太阳能等行业。

三、真空设备都要配四极质谱(RGA)吗?

    如果镀膜工艺要求高,建议配上RGA,比如很多的镀膜机(光驰、新科隆)标配就有RGA

四、四极质谱仪(RGA)可以检漏吗?

可以。

五、配了四极质谱仪(RGA)还需要配检漏仪吗?

很多公司两款都有配,因为检漏仪的功能只是检漏,而且一般都是全套带泵组的,使用时非常简单。而四极质谱(RGA)要在一定的真空度上使用,且不止是检氦气,它的功能主要是分析真空腔体内的气体成份,检漏只是它功能的一种。

六、INFICON产品型号有哪些,各有什么特点,如何选择?

       Transpector CPM紧凑型过程监控器(带分子泵组和采样阀组、可自动控制、大真空度1.2大气压)

       Transpector  SPS 残余气体分析仪(带分子泵组和采样阀组、可自动控制、大真空度1.2大气压)

       CPMSPS比较 SPSCPM的简化版本,功能更简化。
       Transpector  XPR3+ 残余气体分析仪(质量数在0-100Amu,大工作气压1.3X10-2mba

       Transpector  MPH 残余气体分析仪(质量数0-100Amu0-200Amu0-300Amu;大工作气压5X10-4mba

       Transpector  MPS 残余气体分析仪(质量数0-100Amu0-200Amu0-300Amu;大工作气5X10-4mba

       MPHMPS比较,测量间隔小、零爆小、灵敏度高。

       QMG 700 分析质谱仪

A、小于5X10-4mba  可选择MPH/MPS

B、大气压          可选择SPS/CPM

C、小于1.3X10-2mba 可选择XPR3

关于质量数的选择:
1100Amu

   典型应用于非反应性工艺过程,如PVD镀膜、热处理、激光、普通气体分析。检测H2HeH2ON2CoO2ArCO2等小分子气体。

2200/300 Amu

   典型应用于反应性工艺过程,如ETCH/CVD等,监测残余气体及工艺气体如CCL4,碳氢化合物、SiCL4SF6C3F8WF6Xe等高分子材料

七、关于参数指标上的解读?

1、检测器类型有FCEM各是什么?
   FC是法拉第杯 EM是增强模块。

2、小可检分压强是什么意思?

   是真空腔里存在气体小压强,就像一杆秤,如果小于小压强,就不能秤出数据来。

3、仪器报警是怎么回事?

   一般是灯丝烧坏了。灯丝是耗材,一般客户会备用一些。

4RGA使用方便简单吗?容易学吗?

   科锐诗汀提供详细的使用说明书,简单易上手。

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