型号3660系列 日本科赋乐（KOFLOC）质量流量计

一、基础介绍

二、型号区分与量程（氮气标定 20℃/1atm）

1. 3660 标准款：10 SCCM ～ 20 SLM，微量中小流量主流

2. 3665 大流量款：30 SLM ～ 100 SLM，大工艺气场景

三、核心性能参数

1. 精度与响应

• 控制精度：≤±1.0% FS

• 重复性：≤±0.2% FS

• 有效控制区间：1%～100% 满量程

• 响应速度：典型＜1s（达到设定值 ±2% FS）

• 分辨率：1mV 模拟输出高分辨率

2. 压力规格

• 标准工作压差：50～300 kPa；可选 LP 低压差版本（＜50kPa，适配燃气、低压气源）

• 耐压（破坏压力）：1.0 MPa

• 阀体泄漏率：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s，满足真空洁净管路

3. 材质（气路接触）

• 本体流道：SUS316 不锈钢（可选 316L）

• 标准密封：FKM 氟橡胶；可选 NBR、CR 丁腈橡胶

• 阀门：常闭型电磁提升阀，断电自动关断，安全防爆

4. 电气信号与供电

• 供电：±15VDC；+15V 100mA /-15V 250mA

• 设定 / 反馈信号：标准 0–5VDC 模拟（输入阻抗≥1MΩ，输出负载≥250kΩ）

• 接口：DB9 针公头，兼容 SEMI 标准定义

• 开关量输出：1 路报警、1 路事件输出（集电极开路，35V/50mA）

5. 环境条件

• 工作温度：0～50℃；精度保证区间 15～35℃

• 湿度：10%～90% RH，禁止结露

• 无粉尘、无腐蚀性气体环境

四、产品核心优势

1. 安全常闭阀：断电自动切断气路，燃烧、氢气、可燃气体设备标配

2. 低压差可选 LP 型号，低压气源、燃料电池、燃烧炉适配

3. 紧凑型机身，安装占用空间小，性价比高

4. 内置自动归零 Auto-zero 功能，长期运行漂移小

5. 兼容绝大多数国产 PLC、流量显示仪、镀膜 / 气相分析仪控制系统

6. 传感器与气体非接触加热，可燃气体使用更安全

五、典型应用场景

• 实验室气相色谱、气体配比、微量载气控制

• 小型真空镀膜、等离子清洗、SMT 制程吹扫

• 燃料电池、燃烧设备、热处理气氛控制

• 生物发酵、环境检测、小型半导体工艺气路

• 光伏、光学镀膜、检漏、各类小型工艺设备标准配置

六、可选配件与定制选项

1. 接头：1/4"、3/8" 双卡套、VCR 金属密封接头

2. 密封材质替换（NBR/CR）适配特殊腐蚀性气体

3. LP 低压差版本、耐高压定制

4. 专用显示控制器、RS485 数字通讯模块

5. 多种气体标定（Ar、O₂、H₂、He、CH₄等，出厂按需求标定）

七、选型命名示例（参考）

• 3660：系列；20SLM：满量程；N2：标定气体；05V：0-5V 信号；LP：低压差；1/4：1/4 双卡套；FKM：氟橡胶密封