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EBS-530 电子束扫频控制器

简要描述:EBS-530 电子束扫频控制器会生成大量与电子束 (e-beam) 沉积源配合使用的精密扫频图案。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-07
  • 访  问  量:1327
  • 产品资料:

详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

EBS-530 电子束扫频控制器

自定义电子束扫频控制装置
EBS-530 电子束扫频控制器会生成大量与电子束 (e-beam) 沉积源配合使用的精密扫频图案。 用户可选择提供的基本形状(圆、数字 8、线和点),也可以创建用户定义的图案,以优化金属和电介质材料的沉积控制。 通过应用提供的图案修改器,可创建基本形状的变体。 提供的图案修改器包括功率、扫频、旋转速度和功率配置文件。
通过用户友好的触摸屏 LCD 显示屏,可以轻松操作和编程。 EBS-530 zui多可以存储 32 个不同的扫频图案。 从前面板、通过远程输入或通过标准 RS-232/RS-485 接口,可以轻松选择扫频图案。
从扫频控制装置嵌入的一组固定的基本扫频图案开始,用户可以设计适合源和沉积材料特征的理想电子束扫频图案。 EBS-530 生成的扫频图案产生双电流输出,从而能够驱动大多数电子束沉积源的 X Y 扫频线圈。
EBS-530 提供校准功能,用于补偿不同类型与品牌电子枪之间的差异,并提供沉积材料的加热。

功能

·         功能强大、易于使用的校准功能可以补偿枪磁体的不规则

·         高输出电流: 0 5 安培交流电,带 10 欧姆负载

·         驱动器接地或浮动线圈

·         高频响应: 500 赫兹用于线圈 <8 豪亨;200 赫兹用于线圈 = 33 豪亨

·         图案类型: 圆、数字 8、线、点和用户定义

·         手持式控制器用于手动光束控制和校准

·         RS-232/RS-485 通信输入

·         输入功率: 85 265 伏(交流),50/60 赫兹

·         功率因数 = zui大线圈电流时为 0.99




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