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薄膜沉积控制器

简要描述:Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多*的功能,可帮助您实现 OLED 过程的价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s

  • 产品型号:Cygnus 2
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-20
  • 访  问  量:3999
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详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

Cygnus 2 薄膜沉积控制器

OLED 应用提供测量精度

Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多dute的功能,可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s,是行业中的jiaojioazhe。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器wufabini的性能、品质和功能,赋予您的过程zhuoyue的可重复性。

功能

  • INFICON ModeLock 技术确保获得最高、zuiwending的速率和厚度测量分辨率,即使在速率极低的情况下

  • Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值,可提高厚度测量的精度

  • 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源,无需使用两个或三个控制器

  • 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

  • 10 Hz 测量

  • 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz

  • USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

  • 多个源厚度合计功能

  • 测量低密度、低速率材料的平均速率(使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒)

  • 速率显示分辨率可达 0.001Å

  • 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆

  • 无沉积控制允许持续控制源,因为基片可以通过沉积室不断循环

  • 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控

  • 可选以太网通信

  • 符合 RoHS 标准

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